[發明專利]一種應用于超精密龍門式檢測平臺的氣浮導軌

在審

• 申請號: 201810687534.4
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN108591261A
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 趙休金;劉震
• 申請（專利權）人: 深圳市金園智能科技有限公司
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種應用于超精密龍門式檢測平臺的氣浮導軌，其特征在于包括：

龍門架，所述龍門架頂部設置有“U”形安裝槽，直線電機安裝在所述“U”形安裝槽內，所述直線電機包括直線定子和動子，直線定子固定在安裝槽底部，動子安裝在直線定子上；

套接在龍門架上的氣浮滑塊，所述氣浮滑塊包括側向真空預壓氣浮支承組件和頂部氣浮支承件，所述側向真空預壓氣浮支承組件由三個獨立的方形真空預壓氣浮支承件拼接而成，三個獨立的方形真空預壓氣浮支承件分別對應龍門架的前側面、底面和后側面，所述方形真空預壓氣浮支承件包括軸套殼和第一氣浮微孔蓋板，所述軸套殼內部設置有第一真空吸附腔，第一真空吸附腔的中心開設有第一抽氣孔，軸套殼的側壁上設置有第一泄氣孔，所述第一抽氣孔與第一泄氣孔之間通過管道連接，第一真空吸附腔的周側設置有多個呈“回”字形分布且向外漸擴的第一氣膜腔，軸套殼的側壁上設置有第一進氣孔，所述第一進氣孔與每個第一氣膜腔連通，第一氣浮微孔蓋板蓋覆在第一氣膜腔上，第一氣浮微孔蓋板與第一真空吸附腔和軸套殼接觸處均以密封膠密封連接；頂部氣浮支承件通過螺栓固定在側向真空預壓氣浮支承組件的頂部且頂部氣浮支承件與直線電機的動子固定連接，所述頂部氣浮支承件包括殼體，殼體內側蓋覆有蓋板，殼體上設置有兩個并行間隔分布的氣浮腔體，氣浮腔體內開設有第二氣膜腔，第二氣膜腔表面蓋覆有第二氣浮微孔蓋板，殼體端邊上還設置有與氣浮腔體對應的第二進氣孔，所述第二進氣孔與第二氣膜腔通過進氣管連通，每個氣浮腔體的左右兩端均設置有一個第二真空吸附腔，每個第二真空吸附腔的中心均設置有第二抽氣孔，殼體端邊上對應設置有第二泄氣孔，第二抽氣孔與第二泄氣孔之間通過抽真空管連接。

2.如權利要求1所述的應用于超精密龍門式檢測平臺的氣浮導軌，其特征在于：所述第一氣浮微孔蓋板和第二氣浮微孔蓋板均為表面均勻開設有直徑為1-5μm微孔的石墨板或者陶瓷板。

3.如權利要求1所述的應用于超精密龍門式檢測平臺的氣浮導軌，其特征在于：龍門架“U”形安裝槽的側壁上安裝有光柵檢測尺，所述光柵檢測尺與直線電機正對設置。

4.如權利要求3所述的應用于超精密龍門式檢測平臺的氣浮導軌，其特征在于：所述光柵檢測尺的左右端邊上均安裝有光電限位開關。

5.如權利要求1所述的應用于超精密龍門式檢測平臺的氣浮導軌，其特征在于：所述氣浮滑軌的底部還安裝有檢測頭。