[發明專利]一種用于單晶硅棒的測量裝置

在審

• 申請號: 201810684413.4
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN109029197A
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 傅金生;李洪峰;李炳曌;余振亞;朱佳磊;張聰;杜耀亭;寇華
• 申請（專利權）人: 滁州華鼎新能源有限公司
• 主分類號: G01B5/02
• 分類號: G01B5/02;G01B5/08
• 代理公司: 合肥律通專利代理事務所(普通合伙) 34140
• 代理人: 鄭松林

本發明涉及硅棒檢測設備領域，尤其涉及一種用于單晶硅棒的測量裝置，包括長度測量部分和直徑測量部分；所述長度測量部分包含工作臺、固定架，且所述固定架固定橫桿；所述橫桿的外側套接滑套，且所述滑套的底部固定氣動桿；所述氣動桿的底部固定有固定板，第一測量板的底部邊緣處固定擋板，且所述第一測量板的一端通過卷尺連接第二測量板；所述第二測量板的頂部有第二連接桿，且所述第二連接桿通過發條彈簧連接轉軸；所述第二連接桿固定活動板，且所述活動板連接限位桿；所述直徑測量部分包含外伸板、第一壓板和第二壓板和標尺。本發明不但操作簡單，測量全面，同時測量精準，可有效的避免測量出現錯位、偏位的差錯，效率高，速度快。

技術領域

本發明涉及硅棒檢測設備領域，尤其涉及一種用于單晶硅棒的測量裝置。

背景技術

單晶硅可以用于二極管級、整流器件級、電路級以及太陽能電池級單晶產品的生產和深加工制造，其后續產品集成電路和半導體分離器件已廣泛應用于各個領域，在軍事電子設備中也占有重要地位，單晶硅棒在生產加工時需要對其進行測量以便于精準的加工刀所需的尺寸。

如專利號為CN201220121783.5提出的一種單晶硅棒截斷專用丈量裝置，其測量件是與單晶硅棒外表面的彎曲弧度相適應的弧形板體，它可貼合在所述單晶硅棒的外表面上而將單晶硅棒的整體長度劃分為所需截斷后單晶硅棒的長度。

這種測量裝置無法實現對硅棒的直徑進行測量，測量不全面，在進行長度測量時無法直觀的對整個長度進行有效的測量，使用范圍有效。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于單晶硅棒的測量裝置，以解決上述技術問題。

本發明為解決上述技術問題，采用以下技術方案來實現：

設計一種用于單晶硅棒的測量裝置，包括長度測量部分和直徑測量部分；所述長度測量部分包含工作臺，所述工作臺的端部固定固定架，且所述固定架的頂部固定橫桿；所述橫桿的外側套接滑套，且所述滑套的底部固定氣動桿；所述氣動桿的底部固定有固定板，且所述固定板的底部通過第一連接桿連接第一測量板；所述第一測量板的底部邊緣處固定擋板，且所述第一測量板的一端通過卷尺連接第二測量板；所述第二測量板的頂部固定第二連接桿，且所述第二連接桿的內部通過發條彈簧連接轉軸；所述轉軸的外側纏繞所述卷尺；所述第二連接桿的頂部固定活動板，且所述活動板滑動連接限位桿；所述限位桿固定于所述固定板的側部；所述直徑測量部分包含外伸板，所述外伸板固定于所述工作臺的側部，且所述外伸板的表面滑槽處滑動連接第一壓板和第二壓板；所述外伸板的側部刻有標尺。

優選的，所述固定板的側部安裝第一電機，且所述第一電機的一端連接第一螺桿；所述第一螺桿螺紋連接所述活動板，且所述活動板的內部滑動兩個對稱的所述限位桿，通過所述第一電機，帶動所述第一螺桿旋轉即可實現所述活動板的移動。

優選的，所述第二連接桿的側部固定放大鏡片，且所述第二連接桿固定于所述活動板的底部中心處，通過所述放大鏡片便于觀察其長度。

優選的，所述第一測量板與所述第二測量板均采用向上凸起的圓弧形結構，且所述第二測量板的底部等距安裝若干個橡膠滑輪，通過所述橡膠滑輪便于所述第二測量板的滑動。

優選的，所述外伸板的側部安裝第二電機，且所述第二電機的端部連接第三螺桿；所述第三螺桿螺紋連接第二螺桿和第四螺桿，且所述第二螺桿與所述第四螺桿的螺紋方向相反；所述第二螺桿轉動連接于所述第二壓板的側部，所述第四螺桿轉動連接于所述第一壓板的側部，通過所述第二螺桿的旋轉雞兒帶動所述第二螺桿和所述第四螺桿旋轉移動，進而實現對硅錠進行夾緊。

優選的，所述第二壓板與所述第一壓板均采用正三角形結構，且所述第二壓板與所述第一壓板的側部均固定指針。

優選的，所述工作臺采用中心處內陷矩形結構，且所述工作臺的頂部中心處設有所述橫桿；所述橫桿的外側滑動連接所述滑套。