[發(fā)明專利]一種H2SO4/S2O82-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液系統(tǒng)及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810683149.2
• 申請日: 2018-06-15
• 公開（公告）號: CN108531914A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李朝林;羅海健;周明明
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)深圳研究生院
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00;C23F1/18
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 任志龍

1.一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，包括第一電解槽(1)，所述第一電解槽(1)內(nèi)設(shè)有將所述第一電解槽(1)分隔為陽極室(2)和陰極室(3)的離子交換膜(4)，所述陽極室(2)內(nèi)設(shè)有供微蝕刻廢液中的硫酸根離子在其表面發(fā)生電化學(xué)氧化反應(yīng)的陽極件(5)，所述陰極室(3)設(shè)有供微蝕刻廢液中的銅離子在其表面發(fā)生電化學(xué)還原反應(yīng)的陰極件(6)，所述陽極件(5)和陰極件(6)之間連接有第一電源(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，所述陽極件(5)為具有高析氧電位的貴金屬鉑、摻硼金剛石電極、石墨電極、復(fù)合有稀土元素的鈦基片或鈮基片、IrO₂電極、RuO₂電極、TiO₂電極、PbO₂/TiO₂電極、SnO₂電極中的任意一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，所述陰極件(6)為銅片、不銹鋼片、鉛電極、鉛銻合金片、石墨電極、鈦電極、復(fù)合有過渡金屬元素的鈦基板中的任意一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，所述陽極室(2)連通有補充微蝕刻液循環(huán)再生過程中損失組分的調(diào)節(jié)裝置(8)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，所述第一電解槽(1)連通有對所述第一電解槽(1)進行降溫的冷卻裝置(9)。

6.一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-5中任意一項所述一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，還包括：

與所述陽極室(2)連通、用于回收所述陽極室(2)內(nèi)經(jīng)陽極件(5)電化學(xué)氧化循環(huán)再生的微蝕刻液的蝕刻機微蝕刻液儲槽(12)；

與所述蝕刻機微蝕刻液儲槽(12)連通、用于收集所述蝕刻機微蝕刻液儲槽(12)排出的微蝕刻廢液的微蝕刻廢液儲槽(10)，所述微蝕刻廢液儲槽(10)向所述陰極室(3)提供陰極液；以及，

與所述陰極室(3)和所述陽極室(2)連通、用于儲存所述陰極室(3)內(nèi)經(jīng)過電解回收金屬銅后的微蝕刻廢液并為所述陽極室(2)提供陽極液的陽極液儲槽(11)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液系統(tǒng)，其特征在于，所述第一電解槽(1)的陽極室(2)和所述微蝕刻廢液儲槽(10)之間連通有無隔膜的第二電解槽(13)，所述第二電解槽(13)內(nèi)設(shè)有電解裝置(14)，所述微蝕刻廢液儲槽(10)內(nèi)的微蝕刻廢液經(jīng)過所述電解裝置(14)回收金屬銅后導(dǎo)向所述第一電解槽(1)的陽極室(2)。