[發明專利]靜電電容型壓力傳感器有效
| 申請號： | 201810678519.3 | 申請日： | 2018-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN109141739B | 公開（公告）日： | 2020-11-20 |
| 發明（設計）人： | 關根正志;石原卓也;添田將;櫪木偉伸 | 申請（專利權）人： | 阿自倍爾株式會社 |
| 主分類號： | G01L21/00 | 分類號： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本國東京都千*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 電容 壓力傳感器 | ||
1.一種靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，包括：
傳感器芯片，其具有膜片和電極，所述膜片承受被測定介質的壓力而彎曲，所述電極構成為將該膜片的位移轉換為靜電電容的變化；
殼體，其收納有所述傳感器芯片；
壓力導入管，其連接于所述殼體并將所述被測定介質的壓力引導到所述傳感器芯片的膜片上；
傳感器外殼，其覆蓋所述殼體；
加熱器，其被設置為包圍所述傳感器外殼的外周面；
溫度傳感器，其測定所述傳感器外殼內的溫度；
加熱器控制部，其控制供給至所述加熱器的供給電流，從而使由所述溫度傳感器測定出的所述傳感器外殼內的溫度變為規定的自加熱溫度；以及
供給電流抑制部，其構成為在引入來自所述壓力導入管的清洗液進行所述殼體內清洗時，抑制供給至所述加熱器的供給電流以使所述傳感器外殼內的溫度低于所述規定的自加熱溫度。
2.根據權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
所述供給電流抑制部包括：
第一設定溫度存儲部，其將所述規定的自加熱溫度作為第一設定溫度來存儲；
第二設定溫度存儲部，其存儲低于所述第一設定溫度的第二設定溫度；以及
設定溫度切換部，其構成為在利用所述清洗液進行所述殼體內清洗時，將對去往所述加熱器控制部的設定溫度從所述第一設定溫度切換到所述第二設定溫度，
在來自所述設定溫度切換部的所述設定溫度為所述第一設定溫度的情況下，所述加熱器控制部以成為所述第一設定溫度的方式來控制供給至所述加熱器的供給電流，
在來自所述設定溫度切換部的所述設定溫度為所述第二設定溫度的情況下，所述加熱器控制部以成為所述第二設定溫度的方式來控制供給至所述加熱器的供給電流。
3.根據權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，包括：
上限值限制部，其構成為限制供給至所述加熱器的供給電流的上限值，
所述供給電流抑制部包括：
第一上限電流值存儲部，其存儲第一上限電流值；
第二上限電流值存儲部，其存儲低于所述第一上限電流值的第二上限電流值；以及
上限電流值切換部，其在利用所述清洗液進行所述殼體內清洗時，將去往所述上限值限制部的上限電流值從所述第一上限電流值切換到所述第二上限電流值，
在來自所述上限電流值切換部的所述上限電流值為所述第一上限電流值的情況下，所述上限值限制部限制供給至所述加熱器的供給電流的上限值以使其不超過所述第一上限電流值，
在來自所述上限電流值切換部的所述上限電流值為所述第二上限電流值的情況下，所述上限值限制部限制供給至所述加熱器的供給電流的上限值以使其不超過所述第二上限電流值。
4.根據權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
所述供給電流抑制部構成為在利用所述清洗液進行所述殼體內清洗時，抑制供給至所述加熱器的供給電流以使所述傳感器外殼內的溫度接近所述清洗液的溫度。
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