[發(fā)明專利]一種金合金鍵合絲及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810678000.5 | 申請日： | 2018-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN108922876B | 公開（公告）日： | 2020-05-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 周振基;周博軒;于鋒波;彭政展;麥宏全 | 申請（專利權(quán)）人： | 汕頭市駿碼凱撒有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/49 | 分類號： | H01L23/49;H01L21/48;B21C37/04;C22C5/02;C22F1/02;C22F1/14 |
| 代理公司： | 汕頭市潮睿專利事務(wù)有限公司 44230 | 代理人： | 林天普;朱明華 |
| 地址： | 515000 廣東省汕*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 合金 鍵合絲 及其 制造 方法 | ||
1.一種金合金鍵合絲，其特征在于按重量計含有Pd 0.5-2%，Ag 15-30%，Cu 0.5-3%，Pt0.1-2%，微量添加元素Ce 2-100ppm和Ca 10-50ppm，余量為金。
2.權(quán)利要求1所述的金合金鍵合絲的制造方法，其特征在于包括下述步驟：
（1）熔鑄：按比例將Pd、Ag、Cu、Pt和微量添加元素加入到金原料中，經(jīng)過真空熔煉和定向連續(xù)引鑄工藝，獲得直徑為6-8毫米的線材；
（2）拉絲：對步驟（1）得到的線材進行拉絲，獲得直徑為0.08-0.5mm的鍵合絲半成品；
（3）對步驟（2）得到鍵合絲半成品繼續(xù)進行拉絲，獲得直徑為15-50 μm的金合金鍵合絲；
在拉絲過程中對鍵合絲半成品進行若干次中間退火，在退火過程中采用N2做為退火氣氛，退火爐有效長度為600-2000mm，退火溫度為500-800℃，退火速率為30-100m/min；
（4）最后退火：步驟（3）拉絲完成后，對金合金鍵合絲進行最后退火，在退火過程中采用N2來做為退火氣氛，退火爐有效長度為600-1000mm，退火溫度為300-800℃，退火速率為60-120m/min；
（5）冷卻：最后退火結(jié)束后，將金合金鍵合絲冷卻至20-30℃，得到所需的金合金鍵合絲。
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