[發(fā)明專利]一種樣品托

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810676842.7
• 申請日: 2018-06-27
• 公開（公告）號: CN110646629A
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陸曉鳴;丁孫安;趙弇斐;李坊森;黃增立;劉通;陳肖;沈陽;王虎
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
• 主分類號: G01N35/10
• 分類號: G01N35/10
• 代理公司: 44304 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 孫偉峰

本發(fā)明公開了一種樣品托，包括托盤、壓緊片以及鎖緊螺釘，所述托盤上設(shè)置有螺孔，所述壓緊片上設(shè)置有通孔，所述鎖緊螺釘穿過所述壓緊片上的通孔與托盤上的螺孔連接固定。本發(fā)明的四個樣品槽可以固定多個樣品片，壓緊片以及鎖緊螺釘能夠?qū)悠菲i死固定在托盤上，傳動滑槽能使其在不同設(shè)備間傳遞，為納米真空互聯(lián)實驗站中小樣品片的固定與傳遞提供了一種有效的途徑。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種超高真空系統(tǒng)的傳樣裝置的配件，具體涉及一種樣品托。

背景技術(shù)

納米真空互聯(lián)實驗站是由集材料生長、器件加工、測試分析為一體的納米領(lǐng)域平臺。該平臺設(shè)計有100米的超高真空管道，并且在互聯(lián)管道上互聯(lián)33臺用于材料生長、器件加工及測試分析的設(shè)備，對不同類型的樣品進行生長、加工及測試分析。傳樣裝置是超高真空系統(tǒng)的重要組成部分，通常由樣品托、傳樣桿和樣品接收臺三部分組成，其作用是將樣品傳送到實驗站的各個部分。

目前的技術(shù)方案是通過傳送2英寸的硅片，將樣品傳遞到不同設(shè)備，然而在實驗的過程中，有的樣品僅為小片，無法直接進行傳遞，就需要想辦法將小片結(jié)合到2英寸的硅片上進行傳遞，具體做法是將小樣品用銅膠帶或點焊的方式固定在2英寸硅片上。但是這種固定方式一旦遇到需要做加熱工藝的實驗時，銅膠帶或者點焊的位置就會融化，揮發(fā)有機物，污染真空環(huán)境。

雖然點焊的位置融化后仍舊有黏附性，但是小樣品還是會松動，影響實驗結(jié)果，而且由于不同的設(shè)備的進樣模式以及測試方式各不相同，點焊也破壞了小樣品的背面，使其無法適用于其他實驗。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明專利所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種可在不同設(shè)備中通用的能夠穩(wěn)定固定并存放小樣品的樣品托。

為了實現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明采用了如下的技術(shù)方案：

一種樣品托，包括托盤、壓緊片以及鎖緊螺釘，所述托盤上設(shè)置有螺孔，所述壓緊片上設(shè)置有通孔，所述鎖緊螺釘穿過所述壓緊片上的通孔與托盤上的螺孔連接固定。

優(yōu)選地，還包括傳動滑軌，所述傳動滑槽為沿著整個所述托盤外圓周面內(nèi)陷設(shè)置的一圈環(huán)形凹槽。

優(yōu)選地，所述托盤包括承接板，所述承接板上表面低于所述托盤的上表面，所述承接板的直徑小于所述傳動滑槽的內(nèi)圓周面的直徑。

優(yōu)選地，所述托盤、壓緊片以及鎖緊螺釘材料均為鉬。

優(yōu)選地，所述承接板包括第一樣品槽、第二樣品槽、第三樣品槽以及第四樣品槽，所述第一樣品槽、第二樣品槽、第三樣品槽與第四樣品槽形狀大小均相同。

優(yōu)選地，所述第一樣品槽、第二樣品槽、第三樣品槽以及第四樣品槽均設(shè)置在所述承接板上，所述第一樣品槽與第二樣品槽、第三樣品槽與第四樣品槽均關(guān)于所述承接板與所述樣品槽寬度方向同向的直徑對稱，所述第一樣品槽與第三樣品槽、第二樣品槽與第四樣品槽均關(guān)于所述承接板與所述樣品槽長度方向同向的直徑對稱。

優(yōu)選地，所述壓緊片數(shù)目為三個，其中兩個設(shè)置在所述第一樣品槽與第二樣品槽、的左右兩邊且部分遮住所述第一樣品槽、第二樣品槽、第三樣品槽以及第四樣品槽，另一個設(shè)置在所述第一樣品槽與第二樣品槽之間，且部分遮住所述第一樣品槽、第二樣品槽、第三樣品槽以及第四樣品槽。

優(yōu)選地，所述鎖緊螺釘布置在所述承接板上且關(guān)于所述承接板上與所述樣品槽長度方向同向的直徑對稱布置。

優(yōu)選地，所述承接板在第一樣品槽、第二樣品槽、第三樣品槽以及第四樣品槽的寬度方向外側(cè)均設(shè)有通孔，所述通孔與所述樣品槽長度相同且其寬度均向外延伸至傳動滑軌的內(nèi)圓周面。

本發(fā)明提供了一種提供一種可在不同設(shè)備中通用的能夠穩(wěn)定固定并存放小樣品的樣品托，四個樣品槽可以固定多個樣品片，壓緊片以及鎖緊螺釘能夠?qū)悠菲i死固定在托盤上，傳動滑軌能使其在不同設(shè)備間傳遞，為納米真空互聯(lián)實驗站中小樣品片的固定與傳遞提供了一種有效的途徑。