[發明專利]一種基于等離子體的物體表征檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201810670746.1
• 申請日: 2018-06-26
• 公開（公告）號: CN108801195B
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 張靜宇;劉思垣;高驥超
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 李智;曹葆青

1.一種基于等離子體的物體表征檢測方法，其特征在于，包括：

從激光器輸出的光首先通過一個半玻片，然后通過一個偏振片，最后再通過一個半玻片，得到任意角度的線偏振光,所得到的線偏振光通過一個全反射鏡改變光路方向，最后由一個高數值孔徑的物鏡聚焦，在物鏡焦點附近得到等離子體，將得到的等離子體作為探針；

當待測物體表面距離等離子體不同距離時，所述等離子體與所述待測物體表面相互作用，等離子體會發生不同程度的形變，根據形變后的等離子體的形狀特征，推測出不同位置處物體的表面與等離子體的距離，即推測出不同位置處物體的表面與所述物鏡焦點的距離，得出所述待測物體表面的輪廓，以實現對所述待測物體進行表征檢測。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述等離子體為低溫等離子體。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述等離子體包含帶電粒子和中性粒子。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述將等離子體作為探針，包括：

將在介質環境中產生的等離子體作為探針。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述等離子體與所述待測物體表面的相互作用包括：所述等離子體的物理吸附、所述等離子體的捕獲、靜電力、材料表面化學反應、二次電子發射及濺射。

6.一種基于等離子體的物體表征檢測裝置，其特征在于，包括：探針及處理模塊；其中，所述探針通過如下方式產生：從激光器輸出的光首先通過一個半玻片，然后通過一個偏振片，最后再通過一個半玻片，得到任意角度的線偏振光,所得到的線偏振光通過一個全反射鏡改變光路方向，最后由一個高數值孔徑的物鏡聚焦，在物鏡焦點附近得到等離子體，將得到的等離子體作為探針；

當待測物體表面距離等離子體不同距離時，所述等離子體與所述待測物體表面相互作用，等離子體會發生不同程度的形變，所述處理模塊，用于根據形變后的等離子體的形狀特征，推測出不同位置處物體的表面與等離子體的距離，即推測出不同位置處物體的表面與所述物鏡焦點的距離，得出所述待測物體表面的輪廓，以實現對所述待測物體進行表征檢測。