[發(fā)明專利]一種表面覆膜的雙面單晶硅片

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810670695.2
• 申請(qǐng)日: 2018-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN110718602A
• 公開（公告）日: 2020-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳春成;戚建靜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇晶品新能源科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/054
• 分類號(hào): H01L31/054;H01L31/048;H01L31/041
• 代理公司: 11427 北京科家知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 陳娟

1.一種表面覆膜的雙面單晶硅片，包括連接板(1)，其特征在于：所述連接板(1)的內(nèi)腔壁上開設(shè)有放置槽(2)，所述放置槽(2)的內(nèi)腔均勻設(shè)置有三組橡膠環(huán)(3)，且三組橡膠環(huán)(3)從上到下依次呈線性排列，相鄰兩組所述橡膠環(huán)(3)之間設(shè)置有鋼化玻璃(4)，兩組所述鋼化玻璃(4)的相鄰面均設(shè)置有光學(xué)膠彈性層(5)，兩組所述光學(xué)膠彈性層(5)的相鄰面設(shè)置有硅片基體(6)，所述鋼化玻璃(4)遠(yuǎn)離硅片基體(6)的一側(cè)設(shè)置有反射層(7)，所述反射層(7)遠(yuǎn)離硅片基體(6)的一側(cè)設(shè)置有增透層(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面覆膜的雙面單晶硅片，其特征在于：所述連接板(1)的頂部和底部均設(shè)置有防護(hù)罩(9)，且防護(hù)罩(9)的豎截面呈圓弧形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面覆膜的雙面單晶硅片，其特征在于：增透層(8)遠(yuǎn)離硅片基體(6)的一側(cè)均勻設(shè)置有凸塊(10)，且凸塊(10)矩形陣列排列，所述凸塊(10)為半球形凸塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種表面覆膜的雙面單晶硅片，其特征在于：所述凸塊(10)遠(yuǎn)離硅片基體(6)的一側(cè)設(shè)置有氮化硅膜，且氮化硅膜的厚度為七十五納米。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面覆膜的雙面單晶硅片，其特征在于：所述反射層(7)包括壓花玻璃，且壓花玻璃靠近硅片基體(6)的一側(cè)設(shè)置有低折射率介質(zhì)膜，且低折射率介質(zhì)膜靠近硅片基體(6)的一側(cè)設(shè)置有高折射率介質(zhì)膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種表面覆膜的雙面單晶硅片，其特征在于：所述防護(hù)罩(9)遠(yuǎn)離硅片基體(6)的一側(cè)設(shè)置有紫外線保護(hù)膜(11)。