[發明專利]一種蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201810669135.5
• 申請日: 2018-06-26
• 公開（公告）號: CN108642454B
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 常建兵;劉金強;劉玉成
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 許志勇

1.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括：

蒸發源，所述蒸發源位于蒸鍍腔室內；

罩體，所述罩體罩設在所述蒸發源的蒸汽輸出端上，所述罩體上設有通孔；

罐體，所述罐體設置在所述罩體上遠離所述蒸發源的一側，所述罐體的開口端與所述通孔的邊緣連接，所述罐體由導熱材質制成，所述罐體上設置有冷卻結構，所述冷卻結構用于降低所述罩體所罩設空間內蒸汽壓，所述罐體內設有吸附結構，所述吸附結構能夠吸附所述罐體內蒸汽中的材料；

在外力作用下，所述罩體從所述蒸發源的蒸汽輸出端處移開。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述罩體由導熱材質制成。

3.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述罐體的開口端與所述蒸發源的蒸汽輸出端相對。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述吸附結構與所述罐體內壁可拆卸連接。

5.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述吸附結構為金屬網，所述金屬網沿著所述罐體內壁設置。

6.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述冷卻結構為冷卻液循環系統的冷卻液管路，所述冷卻液管路內嵌在所述罐體內。

7.根據權利要求1所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述設備還包括：

基板，所述基板上設有與所述蒸發源的蒸汽輸出端尺寸及數量匹配的開口，所述罩體罩設在所述開口上；

所述蒸發源的數量為多個，所述罩體的數量與所述蒸發源的數量一致。

8.根據權利要求7所述的蒸鍍設備，其特征在于，所述罩體包括：

罩部，所述罩部罩設在所述開口上；

連接部，所述連接部一端與所述罩部連接，所述連接部的另一端與所述基板轉動連接。