[發(fā)明專利]表面紋理測量裝置、表面紋理測量系統(tǒng)和計算機可讀介質(zhì)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810652869.2
• 申請日: 2018-06-22
• 公開（公告）號: CN109115164A
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 阿部信策
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B21/30
• 分類號: G01B21/30
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種表面紋理測量裝置，包括：

表面紋理檢測器，用于輸出可測量對象的表面紋理的測量結(jié)果，其中所述測量結(jié)果被識別為在利用檢測器的觸針追蹤所述可測量對象的表面時所述觸針的移動變化；

姿勢檢測傳感器，用于對作為所述檢測器進行測量時的姿勢的測量姿勢進行檢測；

存儲器，其預加載有與多個姿勢中的各姿勢相對應(yīng)的校正值；以及

校正比較器，用于將所述測量姿勢與所述存儲器中所存儲的多個姿勢進行比較，并且使用與同所述測量姿勢相當?shù)淖藙菹鄬?yīng)的校正值來校正所述測量結(jié)果。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面紋理測量裝置，其中，所述姿勢檢測傳感器被配置為能夠安裝和拆卸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面紋理測量裝置，其中，還包括振動檢測傳感器，所述振動檢測傳感器用于檢測作用于所述檢測器上的振動的大小，其中在所述表面紋理的測量期間的振動的大小超過預定閾值的情況下，所述表面紋理檢測器停止測量。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面紋理測量裝置，其中，還包括振動檢測傳感器，所述振動檢測傳感器用于檢測作用于所述檢測器上的振動的大小，其中在所述表面紋理的測量期間的振動的大小超過預定閾值的情況下，所述表面紋理檢測器停止測量。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的表面紋理測量裝置，其中，所述振動檢測傳感器被配置為能夠安裝和拆卸。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的表面紋理測量裝置，其中，所述振動檢測傳感器被配置為能夠安裝和拆卸。

7.一種表面紋理測量系統(tǒng)，包括：

表面紋理測量儀；以及

外部通信接口，其能夠安裝至所述表面紋理測量儀，

其中，在接收到來自所述外部通信接口的命令時，所述表面紋理測量儀將可測量對象的表面紋理的測量結(jié)果發(fā)送至所述外部通信接口，其中所述測量結(jié)果被識別為在利用檢測器的觸針追蹤所述可測量對象的表面時所述觸針的移動變化，以及

所述外部通信接口包括：

姿勢檢測傳感器，用于對作為所述檢測器進行測量時的姿勢的測量姿勢進行檢測；

存儲器，其預加載有與多個姿勢中的各姿勢相對應(yīng)的校正值；

測量控制發(fā)送器，用于向所述表面紋理測量儀發(fā)送用于要求執(zhí)行表面紋理測量并發(fā)送測量結(jié)果的命令；以及

校正比較器，用于將所述測量姿勢與所述存儲器中所存儲的多個姿勢進行比較，并且使用與同所述測量姿勢相當?shù)淖藙菹鄬?yīng)的校正值來校正從所述表面紋理測量儀接收到的測量結(jié)果。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的表面紋理測量系統(tǒng)，其中，所述外部通信接口還包括振動檢測傳感器，所述振動檢測傳感器用于檢測作用于所述檢測器上的振動的大小，其中在所述表面紋理的測量期間的振動的大小超過預定閾值的情況下，所述測量控制發(fā)送器向所述表面紋理測量儀發(fā)送用以停止測量的命令。

9.一種有形非暫時性計算機可讀介質(zhì)，其存儲用于控制外部通信接口的可執(zhí)行指令集，所述外部通信接口能夠安裝至表面紋理測量儀，其中，在接收到來自所述外部通信接口的命令時，所述表面紋理測量儀將可測量對象的表面紋理的測量結(jié)果發(fā)送至所述外部通信接口，所述測量結(jié)果被識別為在利用檢測器的觸針追蹤所述可測量對象的表面時所述觸針的移動變化，所述外部通信接口包括用于對作為所述檢測器進行測量時的姿勢的測量姿勢進行檢測的姿勢檢測傳感器、以及預加載有與多個姿勢中的各姿勢相對應(yīng)的校正值的存儲器，所述指令集在被計算機處理器執(zhí)行時使所述計算機處理器執(zhí)行包括以下步驟的操作：

向所述表面紋理測量儀發(fā)送用于要求執(zhí)行表面紋理測量并發(fā)送測量結(jié)果的命令；

將所述測量姿勢與所述存儲器中所存儲的多個姿勢進行比較；以及

使用與同所述測量姿勢相當?shù)淖藙菹鄬?yīng)的校正值來校正從所述表面紋理測量儀接收到的測量結(jié)果。