[發明專利]一種玻璃承載裝置的調節方法

有效

• 申請號: 201810652162.1
• 申請日: 2018-06-22
• 公開（公告）號: CN110634789B
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 張作軍;沈洪星;熊海軍;劉晏
• 申請（專利權）人: 合肥欣奕華智能機器有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種玻璃承載裝置的調節方法，其特征在于，包括：

S101、在玻璃承載板的承載面選取多個檢測點，其中，所述多個檢測點中至少包括位于所述承載面的中心的中心檢測點、所述承載面的四個角部的角部檢測點；

S102、以所述玻璃承載板在第一角度時、且以所述中心檢測點為基準點對變位計進行歸零；

S103、檢測所述玻璃承載板在多個角度下各個檢測點的距離信息，其中，所述玻璃承載裝置包括至少三個所述角度，所述玻璃承載板在每一個所述角度下形成一個檢測位置，所述玻璃承載板位于每個所述檢測位置時檢測并獲得所述玻璃承載板在每個檢測位置時多個檢測點的獨立數據，并且，所述玻璃承載板在每個所述檢測位置的獨立數據綜合在一起形成綜合數據，確定所述綜合數據中的最大值和最小值的差值記錄為本次檢測的最大閾值；

S104、比對所述本次檢測的最大閾值與預設精度值之間的關系，判斷本次檢測的最大閾值是否小于所述預設精度值；若所述本次檢測的最大閾值小于所述預設精度值，則停止調節；若所述本次檢測的最大閾值大于或等于所述預設精度值，選取所述玻璃承載板的調節基準面，調節設置在背離所述玻璃承載板一側的頂起機構，并平移所述變位計進行檢測，使所述調節基準面的四個角部檢測點的距離均小于所述本次檢測的最大閾值的二分之一，并重復步驟S103。

2.根據權利要求1所述的玻璃承載裝置的調節方法，其特征在于，在步驟S104中，若所述本次檢測的最大閾值大于或等于所述預設精度值，選取所述玻璃承載板的調節基準面具體包括：

當所述玻璃承載板僅需要調節一次時，選取在所述第一角度時的玻璃承載板的承載面為所述調節基準面；

當所述玻璃承載板需要調節至少兩次時，第一次調節所述玻璃承載板時，選取在所述第一角度時的玻璃承載板的承載面為所述調節基準面；

除去第一次調節時的調節基準面的其他調節基準面選取的具體方式包括：

比對所述本次檢測的最大閾值與基準面選取值，若所述本次檢測的最大閾值小于或等于基準面選取值，選取在所述第一角度時的玻璃承載板的承載面為所述調節基準面；

若所述本次檢測的最大閾值大于基準面選取值，選取位于所述獨立數據中的最大值和最小值的差值最大的檢測位置時的玻璃承載板的承載面為所述調節基準面；

其中，所述基準面選取值＝相對于本次檢測的最大閾值的前一個最大閾值×1/2×120％。

3.根據權利要求1所述的玻璃承載裝置的調節方法，其特征在于，所述多個檢測點呈陣列分布。

4.根據權利要求3所述的玻璃承載裝置的調節方法，其特征在于，所述檢測點設置為25個。

5.根據權利要求1所述的玻璃承載裝置的調節方法，其特征在于，所述玻璃承載裝置包括四個所述角度，且每相鄰的兩個所述角度之間的角度差為90°。

6.根據權利要求1所述的玻璃承載裝置的調節方法，其特征在于，所述預設精度值為100μm。

7.根據權利要求1所述的玻璃承載裝置的調節方法，其特征在于，所述變位計為距離傳感器。

8.根據權利要求7所述的玻璃承載裝置的調節方法，其特征在于，所述距離傳感器的檢測精度為0.0001μm。