[發明專利]一種高靈敏硅二維風速計及其制作方法

有效

• 申請號: 201810644616.0
• 申請日: 2018-06-21
• 公開（公告）號: CN109188015B
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 秦明;張瑤霖;易真翔;黃慶安
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01P5/10
• 分類號: G01P5/10;G01P13/02
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 田凌濤

1.一種高靈敏硅二維風速計，其特征在于：包括襯底(1)、絕緣隔熱層(2)、正四棱臺(3)和四個測量組；

其中，絕緣隔熱層(2)的形狀、尺寸與襯底(1)的形狀、尺寸相等，絕緣隔熱層(2)覆蓋設置于襯底(1)的上表面，正四棱臺(3)的頂面與其底面相平行，正四棱臺(3)的底面大于其頂面，正四棱臺(3)的底面固定設置于絕緣隔熱層(2)上表面的中心位置；

四個測量組與正四棱臺(3)的四個傾斜面彼此一一對應，各測量組分別均包括矩形塊狀加熱件(4)和兩個測溫元件(5)，各測量組中的矩形塊狀加熱件(4)分別固定設置于正四棱臺(3)對應傾斜面上，且各矩形塊狀加熱件(4)兩寬邊中點連線所在直線、過所設傾斜面的頂邊中點位置、底邊中點位置，各測量組中的兩個測溫元件(5)固定設置于正四棱臺(3)對應傾斜面上、矩形塊狀加熱件(4)兩側的位置，且各測量組中的兩個測溫元件(5)相對對應矩形塊狀加熱件(4)呈軸對稱分布；沿俯視正四棱臺(3)頂面方向的投影，正四棱臺(3)四個傾斜面上的測量組設置結構、相對正四棱臺(3)頂面中心位置呈中心對稱分布；各測量組中矩形塊狀加熱件(4)、測溫元件(5)分別所對應的焊盤(7)固定設置于絕緣隔熱層(2)上非正四棱臺(3)設置區，各測量組中矩形塊狀加熱件(4)、測溫元件(5)分別通過焊錫電路與對應焊盤(7)相連接，且焊錫電路位于絕緣隔熱層(2)上非正四棱臺(3)設置區。

2.根據權利要求1所述一種高靈敏硅二維風速計，其特征在于：所述各測量組中矩形塊狀加熱件(4)上對應所設正四棱臺(3)傾斜面頂邊的端部、分別均延伸至正四棱臺(3)的頂面上，且各矩形塊狀加熱件(4)上該延伸端彼此互不接觸，沿俯視正四棱臺(3)頂面方向的投影，正四棱臺(3)四個傾斜面上的測量組設置結構、相對正四棱臺(3)頂面中心位置呈中心對稱分布。

3.根據權利要求1所述一種高靈敏硅二維風速計，其特征在于：所述正四棱臺(3)為絕緣低導熱材料制成。

4.根據權利要求3所述一種高靈敏硅二維風速計，其特征在于：所述正四棱臺(3)為硅材料制成。

5.根據權利要求1所述一種高靈敏硅二維風速計，其特征在于：所述絕緣隔熱層(2)為二氧化硅制成。