[發明專利]環形拋光瀝青盤表面面形在線監控裝置及監控方法

有效

• 申請號: 201810636298.3
• 申請日: 2018-06-20
• 公開（公告）號: CN108844488B
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 朱健強;尹進;焦翔;湯文龍;譚小紅
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種拋光盤表面面形在線監控的方法，采用拋光盤表面面形在線監控裝置，該裝置包括固定支架(1)、手動旋轉臺(2)、俯仰調節機構(3)、鉸鏈(4)、校正盤(5)、CCD(6)、分光鏡(7)、準直透鏡(8)，所述的CCD(6)、分光鏡(7)和準直透鏡(8)集成封裝后固定在所述的俯仰調節機構(3)上，所述的手動旋轉臺(2)的左側與所述的固定支架(1)固定連接，右側與所述的俯仰調節機構(3)固定連接，左右兩側可繞手動旋轉臺(2)中心軸在垂直紙面的平面內旋轉調節并鎖定；所述的CCD(6)的成像面位于所述的準直透鏡(8)的焦平面上，所述的集成封裝系統通過導光光纖(12)與光源(16)相連，所述的CCD(6)通過數據線與計算機(15)相連；帶有二維調整架的反射鏡(9)和校正盤(5)通過連接件(10)剛性連接，所述的反射鏡(9)的反射面與所述的校正盤(5)的下表面平行，反射鏡(9)的反射面鍍膜，面形PV值小于0.1λ，λ為波長，所述的光源(16)發出的光通過所述的導光光纖(12)，經過所述的分光鏡(7)、準直透鏡(8)后照射所述的反射鏡(9)，經所述的反射鏡(9)反射的光再經過準直透鏡(8)、分光鏡(7)后成像在所述的CCD(6)上；其特征在于該方法包括下列步驟：

1)讓機床處于停機狀態，配合調整手動旋轉臺(2)、俯仰調節機構(3)和帶有二維調整架的反射鏡(9)，使CCD(6)上出現清晰的十字叉絲的像；

2)手動轉動校正盤(5)，使十字叉絲的位置保持不變；

3)測量出一組傾角和監控元件的實際面形，進行系統校正，消除系統誤差；

4)設定監測參數，連續在線監測校正盤(5)的傾角，對實際采集的角度信號進行處理后解算出拋光盤表面的實際面形信息。

2.根據權利要求1所述的拋光盤表面面形在線監控的方法，其特征是所述的光源(16)為氦氖光源，波長λ為632.8nm。