[發(fā)明專利]一種柔性聚合物表面上金屬納米裂紋的制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810635036.5 | 申請日： | 2018-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN108910818B | 公開（公告）日： | 2022-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉軍山;郭洪吉;初永志;徐征;宋滿倉;劉沖 | 申請（專利權(quán)）人： | 大連理工大學(xué) |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 大連理工大學(xué)專利中心 21200 | 代理人： | 李曉亮;潘迅 |
| 地址： | 116024 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 柔性 聚合物 表面上 金屬 納米 裂紋 制造 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種柔性聚合物表面上金屬納米裂紋的制造方法，其特征在于，所述的制造方法得到的金屬納米裂紋的形狀、位置、密度、長度能夠精確控制，具體包括以下步驟：
1)采用薄膜沉積法在柔性聚合物表面沉積一層金屬薄膜；
2)在金屬薄膜表面旋涂一層光刻膠，根據(jù)柔性聚合物表面上需要產(chǎn)生的金屬納米裂紋的信息，采用光刻工藝對光刻膠進行圖形化，以此控制柔性聚合物-金屬薄膜-光刻膠三層結(jié)構(gòu)不同位置處的中性層高度；
3)對柔性聚合物進行彎曲，使其表面的金屬薄膜出現(xiàn)金屬納米裂紋，由于不同位置處中性層的高度不同，導(dǎo)致不同位置的金屬薄膜承受的應(yīng)力不同，裂紋僅在應(yīng)力最大的位置產(chǎn)生，以此精確控制金屬納米裂紋的形狀、位置、密度、長度信息；
4)去除金屬薄膜表面的光刻膠。
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