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[發明專利]一種劇毒電子混合氣配置工藝在審

專利信息
申請號: 201810634486.2 申請日: 2018-06-20
公開(公告)號: CN108745010A 公開(公告)日: 2018-11-06
發明(設計)人: 許進榮;曹素英;許銘捷 申請(專利權)人: 福建久策氣體集團有限公司
主分類號: B01F3/02 分類號: B01F3/02
代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100 代理人: 蔡學俊
地址: 350109 福建省*** 國省代碼: 福建;35
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摘要:
搜索關鍵詞: 混合氣 劇毒 充裝 配置 定量控制 管道置換 充氣瓶 平衡氣 組分氣 抽排 驗算 配制 尾氣
【權利要求書】:

1.一種劇毒電子混合氣配置工藝,其特征在于:所述配置工藝依次包括組分預配計算、配制前管道置換、劇毒組分氣定量控制、平衡氣單向定量控制;配置工藝還包括尾氣抽排處理、已充氣瓶組分比例驗算;當進行配置工藝的混合氣充裝時,先充裝氣體含量少的組分,后充裝氣體含量多的組分;

所述組分預配計算,其方法是根據生產需求,由氣體狀態方程PV=ZnRT計算出各組分預配質量,在計算過程中,各組分質量精確控制到以克或克以下單位;

所述配制前管道置換,其方法是將待配氣瓶接入配氣系統后,稱量并記錄數值,然后打開真空閥門抽出管道內的氣體,使用平衡氣或高純氦氣對管道進行清洗置換三次或三次以上,并使管道保持真空度10pa以下;

所述劇毒組分氣定量控制,其方法是根據氣體狀態方程計算出待配制組分氣A的質量和壓力后,把純度大于等于99.9%的組分氣A的壓力提高至壓力值后再經進氣閥充入目標氣瓶,充至電子稱顯示的充入數值與理論計算值一致后,再依次關閉原料組分氣閥門及目標氣瓶閥門;隨后放空管道余氣,并用高純氦氣或平衡氣對配氣系統進行5次以上置換及抽空作業,對配氣系統置換完成后加高純氦氣至一個大氣壓后,取出已配入組分氣A的目標氣瓶,并通過計重秤稱量記錄的數值來計算氣瓶內組分氣A的質量;

所述平衡氣單向定量控制,其方法是根據目標氣瓶內組分氣A的實際質量計算出總的摩爾量,然后計算出所需平衡氣質量和分壓,把純度大等于99.999%的平衡氣壓力提升至大于氣瓶內組分氣的壓力后,再經平衡氣進氣單向閥門把平衡氣充入目標氣瓶,直至電子稱顯示數值與平衡氣理論計算值一致后,再依次關閉平衡氣進氣單向閥門及目標氣瓶閥門;隨后放空管道余氣,并用氮氣置換抽空5次以上配氣系統,置換完成后加氮氣至一個大氣壓,取出已充入平衡氣的目標氣瓶,并通過計重秤稱量記錄的數值來計算氣瓶內平衡氣質量。

2.根據權利要求1所述的一種劇毒電子混合氣配置工藝,其特征在于:所述尾氣抽排處理,其方法為,把配置工藝中的抽排氣體,統一匯入尾氣吸收塔中進行集中處理,該尾氣吸收塔為填料式噴淋塔,吸收液為高錳酸鉀或過氧化氫且吸收液濃度不低于20% 。

3.根據權利要求1所述的一種劇毒電子混合氣配置工藝,其特征在于:所述已充氣瓶組分比例驗算,其方法為根據充入的組分氣和平衡氣的質量數據,使用摩爾濃度計算公式計算各組分含量:

所述摩爾濃度計算公式為

公式中mi為充入瓶中i組分的質量,單位為g;

mj為充入瓶中j組分的質量,單位為g;

Mi為充入瓶中i組分的摩爾質量,單位為mol;

Mj為充入瓶中j組分的摩爾質量,單位為mol。

4.根據權利要求3所述的一種劇毒電子混合氣配置工藝,其特征在于:當已充氣瓶組分比例驗算所計算的實際配制濃度與預配濃度的誤差在1%以內時,可判定已充氣瓶為混合氣配置工藝制備的合格品。

5.根據權利要求2所述的一種劇毒電子混合氣配置工藝,其特征在于:所述組分預配計算、配制前管道置換、劇毒組分氣定量控制、平衡氣單向定量控制均在負壓室內進行,負壓室內設有抽風設備與尾氣吸收塔相通。

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