[發明專利]一種導電聚合物薄膜及其圖案化制作方法和應用在審
| 申請號: | 201810631939.6 | 申請日: | 2018-06-19 |
| 公開(公告)號: | CN108922656A | 公開(公告)日: | 2018-11-30 |
| 發明(設計)人: | 王旭華 | 申請(專利權)人: | 九睿海創(深圳)科技有限公司 |
| 主分類號: | H01B5/14 | 分類號: | H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司: | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人: | 唐致明 |
| 地址: | 518054 廣東省深圳市南山區*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 氧化劑涂層 導電聚合物薄膜 圖案化 透光 光源 掩膜板 制作 電導率 光輻射 應用 聚合物單體 圖案化電極 電子器件 聚合反應 綠色環保 制作過程 不透光 分辨率 襯底 溶劑 涂覆 成型 照射 施加 制造 | ||
1.一種導電聚合物薄膜的圖案化制作方法,其特征在于,包括以下步驟:
1)在襯底上涂覆氧化劑涂層;
2)施加光源對所述氧化劑涂層進行光輻射,在所述光源與所述氧化劑涂層之間設置掩模板,所述掩模板包括透光部分和不透光部分,所述光源通過所述透光部分照射到所述氧化劑涂層上,以破壞所述透光部分對應的氧化劑涂層,形成圖案化氧化劑涂層;
3)將所述圖案化氧化劑涂層與聚合物單體發生聚合反應,形成導電聚合物薄膜;
在步驟1)中,所述氧化劑涂層由混合物構成,所述混合物按重量百分數計包括10%~30%氧化劑、60%~90%有機溶劑和和0.001%~10%摻雜劑;所述摻雜劑選自聚乙二醇、聚丙二醇和聚乙二醇的聚合物,聚乙烯和聚乙二醇的聚合物,聚乙烯和聚乙烯二醇的聚合物中的至少一種;
在步驟3)中,所述聚合物單體選自順式或反式聚乙炔、聚噻吩、聚二乙炔、聚對苯撐、聚吡咯、聚二噻吩、聚異噻吩、聚苯基乙烯、聚噻吩基乙烯、聚苯硫醚、聚苯胺及上述聚合物單體的衍生物中的至少一種。
2.根據權利要求1所述的導電聚合物薄膜的圖案化制作方法,其特征在于,所述氧化劑選自三價鐵鹽、二價銅鹽、三價鎳鹽、高碘酸鹽、次氯酸鹽、H2PtCl5·6H2O、Na2PdCl4、AuCl3、HAuCl4.4H2O、AgNO3、MnO2中的至少一種。
3.根據權利要求1所述的導電聚合物薄膜的圖案化制作方法,其特征在于,所述有機溶劑選自醇類、苯類中的至少一種。
4.根據權利要求1所述的導電聚合物薄膜的圖案化制作方法,其特征在于,在步驟2)中,所述光輻射為采用紫外輻射。
5.根據權利要求1-4中任一項所述的導電聚合物薄膜的圖案化制作方法,其特征在于,還包括步驟4):利用溶劑漂洗,以除去已被破壞的氧化劑涂層和/或未參與聚合反應的氧化劑涂層。
6.一種導電聚合物薄膜,其特征在于,所述導電聚合物薄膜由權利要求1-5中任一項所述導電聚合物薄膜的圖案化制作方法制得。
7.權利要求6所述的導電聚合物薄膜在制作光電子器件電極中的應用。
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