[發(fā)明專利]尾氣處理冷阱

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201810631682.4
• 申請日: 2018-06-19
• 公開（公告）號: CN110617729A
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發(fā)明（設計）人: 趙青松;寧紅鋒
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技(北京)有限公司
• 主分類號: F28D21/00
• 分類號: F28D21/00;F28F19/01
• 代理公司: 11252 北京維澳專利代理有限公司
• 代理人: 王立民;賈博雍

本發(fā)明公開了一種尾氣處理冷阱，包括：設有尾氣入口的下殼體、設有尾氣出口的上殼體、連接在所述下殼體上的多個柱狀的由導熱材料制成的冷卻棒以及設有多個第一過孔的由導熱材料制成的濾網(wǎng)板；所述上殼體與所述下殼體連接以形成冷卻腔室，所述冷卻棒及所述濾網(wǎng)板置于所述冷卻腔室的內(nèi)部；其中，所述濾網(wǎng)板通過所述第一過孔套設在所述冷卻棒上，且所述冷卻棒的外壁與所述第一過孔的內(nèi)壁接觸。相比現(xiàn)有的冷卻設備結構，本發(fā)明能夠獲得更佳的冷卻和沉積效果；而且套設結構的濾網(wǎng)板不僅便于拆卸和清理，在拆卸、移動濾網(wǎng)板時，濾網(wǎng)板還能夠清理冷卻棒外壁附著的沉積物，使其冷卻效果得以保證。

技術領域

本發(fā)明涉及工業(yè)尾氣處理領域，尤其涉及一種尾氣處理冷阱。

背景技術

在半導體行業(yè)、太陽能行業(yè)、LED行業(yè)、平板顯示行業(yè)和光纖行業(yè)快速發(fā)展的今天，化學氣相沉積、刻蝕等工藝使用范圍越來越廣泛。但是相關生產(chǎn)工藝大部分都涉及到有毒材料、易燃易爆材料或腐蝕性原材料，因而導致在工藝過程中產(chǎn)生的尾氣內(nèi)往往含有低熔點的副產(chǎn)物。

例如在上述行業(yè)廣泛使用的抽真空工藝產(chǎn)生的尾氣中，所含低熔點副產(chǎn)物非常容易污染相關的真空設備，例如沉積在真空管道內(nèi)、真空閥門的縫隙、真空規(guī)的檢驗入口處以及真空泵內(nèi)，相應造成真空管道堵塞、閥門開啟失效或關閉不嚴、真空規(guī)讀數(shù)誤差以及真空泵失效等不良后果，嚴重時甚至導致整個工藝線停機，對工藝生產(chǎn)影響較大。

然而現(xiàn)有的冷卻處理設備由于結構合理性不佳，不僅導致冷卻效果不充分而且難于清理冷卻后的沉積物。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種便于清理的尾氣處理冷阱，用于對前述尾氣進行充分冷卻以有效捕捉尾氣內(nèi)所含副產(chǎn)物。

本發(fā)明采用的技術方案如下：

一種尾氣處理冷阱，包括：

設有尾氣入口的下殼體、設有尾氣出口的上殼體、連接在所述下殼體上的多個柱狀的由導熱材料制成的冷卻棒以及設有多個第一過孔的由導熱材料制成的濾網(wǎng)板；

所述上殼體與所述下殼體連接以形成冷卻腔室，所述冷卻棒及所述濾網(wǎng)板置于所述冷卻腔室的內(nèi)部；其中，所述濾網(wǎng)板通過所述第一過孔套設在所述冷卻棒上，且所述冷卻棒的外壁與所述第一過孔的內(nèi)壁接觸。

可選地，在所述冷卻腔室的內(nèi)部設有預冷腔，所述預冷腔靠近所述尾氣入口并與所述冷卻腔室連通；

所述濾網(wǎng)板位于所述預冷腔外。

可選地，所述尾氣處理冷阱還包括設有多個氣孔的勻氣板，所述勻氣板置于所述預冷腔與所述濾網(wǎng)板之間。

可選地，所述勻氣板設有用于套設所述冷卻棒的第二過孔。

可選地，在所述冷卻腔室的內(nèi)部設有匯集腔，所述匯集腔靠近所述尾氣出口并與所述冷卻腔室連通；

所述濾網(wǎng)板位于所述匯集腔外。

可選地，所述第一過孔中設有由導熱材料制成的套管，所述套管的內(nèi)壁與所述冷卻棒的外壁接觸。

可選地，所述套管的內(nèi)壁的表面為非光滑面，所述非光滑面用于清理所述冷卻棒的外壁。

可選地，所述濾網(wǎng)板的內(nèi)部設有多個由導熱材料制成的支撐條，各所述套管通過所述支撐條相接。

可選地，所述尾氣處理冷阱還包括設有多個第三過孔的清理板，所述清理板通過所述第三過孔套設在所述冷卻棒上，且置于所述冷卻棒與所述下殼體相連的一端，所述濾網(wǎng)板設置在所述清理板遠離所述下殼體的一側(cè)；所述清理板用于清理所述冷卻棒的外壁。

可選地，所述清理板設有持握部。