[發明專利]去除激光晶化突起的裝置

在審

• 申請號: 201810631604.4
• 申請日: 2018-06-19
• 公開（公告）號: CN109801843A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 趙玹辰;裵俊和;秋秉權;姜勝培;梁熙星;曹雨辰
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L21/321
• 分類號: H01L21/321;H01L21/67
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 孫昌浩;李盛泉

1.一種去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，包括：

第一旋轉板，布置有包括多晶硅層的顯示面板；

第二旋轉板，與所述第一旋轉板相向，并研磨所述多晶硅層的激光晶化突起；

研磨監視部，與所述第二旋轉板連接，并與所述第二旋轉板一起旋轉；以及

分光器，連接于所述研磨監視部。

2.如權利要求1所述的去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，還包括：

第二支撐臺，連接于所述第二旋轉板；以及

固定支撐臺，將所述第二支撐臺與所述研磨監視部相互固定。

3.如權利要求2所述的去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，還包括：

吸附墊，位于所述第一旋轉板上，并固定所述顯示面板；以及

研磨墊，位于所述第二旋轉板上，并與所述顯示面板相向。

4.如權利要求2所述的去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，

所述固定支撐臺包括：主支撐臺；以及輔助支撐臺，從所述主支撐臺延伸而與所述研磨監視部重疊。

5.如權利要求4所述的去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，

所述研磨監視部包括：光源；收光部，與所述光源相隔而布置，

所述光源位于所述輔助支撐臺的一側，所述收光部位于所述輔助支撐臺的另一側。

6.如權利要求5所述的去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，還包括：

偏光器，位于所述光源的出口。

7.如權利要求5所述的去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，還包括：

漿料供應部，連接于所述第二支撐臺，并向所述第一旋轉板供應漿料。

8.如權利要求7所述的去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，

所述漿料供應部包括：

漿料藥液部，貼附于所述第二支撐臺；

漿料噴嘴部，連接于所述漿料藥液部；

噴嘴頭，連接于所述漿料噴嘴部，并與所述第一旋轉板相鄰地布置；

引導部，連接所述漿料藥液部和所述漿料噴嘴部，并引導所述漿料藥液部的升降。

9.如權利要求8所述的去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，

所述引導部貫通所述輔助支撐臺的孔。

10.如權利要求2所述的去除激光晶化突起的裝置，其特征在于，

所述分光器貼附于所述第二支撐臺。