[發明專利]清洗器具、清洗方法以及液體供給裝置

有效

• 申請號: 201810631033.4
• 申請日: 2018-06-19
• 公開（公告）號: CN109482582B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 安陪裕滋;高村幸宏
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: B08B9/023
• 分類號: B08B9/023;B08B9/027;B08B3/08;B05C11/10
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;董雅會

本發明涉及一種清洗器具、清洗方法以及液體供給裝置，利用清洗液更良好地且在短時間內清洗聯接器，所述聯接器具有能夠裝卸于液體貯存體上的蓋部和貫通設置于所述蓋部的配管，通過將所述配管插入所述液體貯存體的內部，能經由所述配管取出在所述內部貯存的液體，所述清洗器具具有：容器，具有能夠插入配管的開口、能夠經由所述開口容納所述配管的內部空間，以及保持部，安裝于所述容器的所述開口附近，保持從所述液體貯存體卸下的所述聯接器；通過使所述清洗液在間隙空間與所述配管的內部之間流通，來清洗所述配管，所述間隙空間為，所述配管容納于所述內部空間而在所述容器的內表面與所述配管的外表面之間形成的空間。

技術領域

本發明涉及利用清洗液清洗聯接器(Coupler)的清洗技術以及應用了該清洗技術的液體供給裝置，所述聯接器將貫通設置于蓋部的配管插入液體貯存體的內部，經由所述配管取出貯存于所述液體貯存體的內部的液體，其中，所述蓋部能夠相對于所述液體貯存體進行自由裝卸。

背景技術

以往，在向基板涂敷涂敷液的基板處理裝置中，例如一般采用如日本特許第5346643號公報所記載那樣從噴出口噴出涂敷液的噴嘴。雖然在該日本特許第5346643號公報沒有進行詳細說明，但是為了向噴嘴供給涂敷液，在基板處理裝置上設置有液體供給裝置，該液體供給裝置將用于貯存涂敷液的液體貯存體內的涂敷液供給至噴嘴。作為該液體供給裝置，例如能夠采用日本特開2000-153213號公報記載的結構。

在日本特開2000-153213號公報中，作為液體貯存體的一例，設置有間接加壓罐。在該間接加壓罐的內部配置有處理液瓶。并且，將送液配管插入處理液瓶，向間接加壓罐提供加壓氣體，從而將處理液瓶內的涂敷液經過送液配管取出到間接加壓罐的外部。該涂敷液經由具有捕集罐、泵等的送液機構送至噴嘴。

但是，在更換處理液瓶時，需要從處理液瓶卸下送液配管。并且，在將該送液配管插入貯存有其它種類的涂敷液或其它液體的處理液瓶的情況下，需要在進行該插入之前清洗送液配管。由操作者的人工操作進行該清洗操作，因此存在進行清洗處理需要時間的問題。另外，還存在清洗質量不均勻的問題。

另外，送液配管并不是單獨插入處理液瓶，而是將使送液配管貫通蓋部而成的聯接器安裝于間接加壓罐。因此，不僅是送液配管，蓋部的背面也會附著涂敷液，因此優選還考慮蓋部的清洗。此外，這樣的問題并不是間接加壓罐特有的問題，在對其它液體貯存體(桶、Nowpak(注冊商標)等)裝卸聯接器時，也會產生這樣的問題。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種能夠利用清洗液更良好地且在短時間內清洗聯接器的清洗技術以及應用該清洗技術的液體供給裝置，所述聯接器將貫通設置于蓋部的配管插入液體貯存體的內部，能經由配管取出貯存于所述液體貯存體的內部的液體，其中，所述蓋部能夠相對于所述液體貯存體自由裝卸。

根據本發明的第一方面，提供一種清洗器具，用于利用清洗液清洗聯接器，聯接器將具有能夠裝卸于液體貯存體上的蓋部和貫通設置于蓋部的配管，通過將配管插入液體貯存體的內部，能經由配管取出在內部貯存的液體，清洗器具的特征在于，具有：容器，具有能夠插入配管的開口、能夠經由開口容納配管的內部空間，以及保持部，安裝于容器的開口附近，保持從液體貯存體卸下的聯接器；通過使清洗液在間隙空間與配管的內部之間流通，來清洗配管，所述間隙空間為，配管容納于內部空間而在容器的內表面與配管的外表面之間形成的空間。

另外，根據本發明的第二方面，提供一種清洗方法，用于清洗聯接器，聯接器具有能夠裝卸于液體貯存體的蓋部和貫通設置于蓋部的配管，通過將配管插入液體貯存體的內部，能經由配管取出在內部貯存的液體，清洗方法的特征在于，包括：將從液體貯存體卸下的聯接器的配管插入清洗器具的容器，并且利用清洗器具保持蓋部的工序；以及使清洗液在間隙空間與配管的內部流通來清洗配管的工序，間隙空間為，形成于容器的內表面與配管的外表面之間的空間。