[發明專利]一種柔性神經電極以及柔性神經電極的植入方法

有效

• 申請號: 201810630076.0
• 申請日: 2018-06-19
• 公開（公告）號: CN108853717B
• 公開（公告）日: 2022-03-22
• 發明（設計）人: 方英;郜磊;王晉芬;管壽梁;杜明德
• 申請（專利權）人: 國家納米科學中心
• 主分類號: A61N1/05
• 分類號: A61N1/05
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種柔性神經電極，其特征在于，包括：

柔性襯底、柔性絕緣層以及位于所述柔性襯底和所述柔性絕緣層之間的導電層和磁性材料層；

其中，所述導電層包括至少一條導電線，所述導電線包括互連導線以及分別位于所述互連導線兩端的記錄位點和焊點；

所述柔性神經電極包括探針區、輔助區以及連接區，所述記錄位點以及與所述記錄位點連接的第一部分互連導線位于所述探針區，除所述第一部分互連導線之外的第二部分互連導線位于所述輔助區，所述焊點位于所述連接區；

所述磁性材料層包括多個磁性材料部，所述磁性材料部與所述第一部分互連導線一一對應，在所述柔性襯底和所述柔性絕緣層的層疊方向上，所述磁性材料部與對應所述第一部分互連導線層疊設置；

所述柔性絕緣層至少覆蓋所述導電層和所述磁性材料層，所述柔性絕緣層上形成有至少一個通孔，所述通孔與所述記錄位點一一對應，所述通孔貫穿所述柔性絕緣層露出對應所述記錄位點；

所述探針區內的所述柔性襯底包括多個與所述導電線一一對應的條狀結構；

磁場產生部件產生的磁力對所述柔性神經電極的探針區起到牽引作用。

2.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述柔性襯底的材料為聚酰亞胺、聚對二甲苯和SU8光刻膠中任意一種或任意至少兩種的組合；

所述柔性襯底的厚度取值范圍為0.5～4um。

3.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述柔性絕緣層的材料為聚酰亞胺、聚對二甲苯和SU8光刻膠中任意一種或任意至少兩種的組合；

所述柔性絕緣層的厚度取值范圍為0.5～4um。

4.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述導電層的材料為金、鉑和銥中任意一種或任意至少兩種的組合；

所述導電層的厚度取值范圍為20～500nm。

5.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述導電線的數量大于1時，各所述導電線平行設置；

所述導電線的數量取值范圍為1～500。

6.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述互連導線的寬度取值范圍為2～100um。

7.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述柔性襯底和所述導電層之間設置有粘附層；

所述粘附層的材料為鉻或鈦；

所述粘附層的厚度取值范圍為5～60nm。

8.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述磁性材料層位于所述導電層遠離所述柔性襯底的一側；

所述磁性材料層通過電鍍工藝形成；

所述磁性材料層的材料為FeNi，FePt和CoPt中任意一種或任意至少兩種的組合；

所述磁性材料層的厚度取值范圍為0.5～4um。

9.根據權利要求8所述的柔性神經電極，其特征在于，所述電鍍工藝中采用的溫度取值范圍為20～70℃，電鍍時間取值范圍為1～15min，電流密度取值范圍為50～600A/m²。

10.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述磁性材料部的寬度取值范圍為2～90um；

所述磁性材料部為條狀或包括至少兩個沿所述導電線延伸方向排布的分立子部。

11.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述條狀結構的長度取值范圍為1～15mm；

所述條狀結構的寬度取值范圍為5～100um；

所述條狀結構的數量大于1時，相鄰所述條狀結構之間的間距取值范圍為20～1000um。

12.根據權利要求1所述的柔性神經電極，其特征在于，所述記錄位點的形狀為圓形；

所述記錄位點的直徑取值范圍為5～30um。