[發明專利]一種質譜檢出限的檢測裝置及其檢測方法

有效

• 申請號: 201810629121.0
• 申請日: 2018-06-19
• 公開（公告）號: CN108962716B
• 公開（公告）日: 2023-10-20
• 發明（設計）人: 羅艷;吳曉斌;王魁波;謝婉露;張羅莎;張立佳
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: H01J49/02
• 分類號: H01J49/02;H01J49/42
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 劉廣達

1.一種高精度質譜檢出限的檢測裝置，其特征在于，包括：待測高精度質譜儀、真空腔室、金屬細管、大氣采樣閥以及金屬毛細管，其中，所述待測高精度質譜儀與所述真空腔室的第一端密封連接且所述待測高精度質譜儀的檢測端伸入所述真空腔室內；所述真空腔室的第二端與所述大氣采樣閥的第一端密封連接；所述金屬細管位于所述真空腔室內，其第一端與所述檢測端連通，其第二端與所述大氣采樣閥的第一端連通；所述大氣采樣閥的第二端與所述金屬毛細管的第一端連通；所述金屬毛細管位于所述真空腔室外，其第二端處具有空氣過濾器。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述待測高精度質譜儀的檢測端包括：離子源、質量分析器和檢測器，其中，所述離子源為封閉式離子源，所述封閉式離子源與所述金屬細管連通；所述檢測器的底部為開放式結構，用于與所述真空腔室連通。

3.根據權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述金屬細管為內徑為1毫米、長度為100毫米的金屬細管，所述金屬細管與大氣采樣閥通過孔徑為10μm限流小孔相連通。

4.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述金屬毛細管為內徑為150微米，長度為1米的金屬毛細管，其外表面具有加熱結構，包括加熱器、加熱器套以及溫度傳感器，用于對金屬毛細管進行烘烤除氣處理。

5.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括：微調閥和隔膜泵，其中，所述微調閥的進氣口與所述大氣采樣閥的第三端相連，所述微調閥的出氣口與所述隔膜泵連通。

6.根據權利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述真空腔室的外表面包裹有加熱帶，所述加熱帶用于真空腔室的烘烤除氣處理。

7.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置還包括：干泵、分子泵以及真空計，其中，所述分子泵的第一端與所述真空腔室的第三端口連通，所述分子泵的第二端與所述干泵的第一端連通，所述干泵的第二端暴露于空氣中，用于所述真空腔室內氣體的排除；所述真空計與所述真空腔室的第四端口連通。

8.一種使用上述權利要求1-7任意一項所述的一種高精度質譜檢出限的檢測裝置的檢測方法，其特征在于，包括：

獲取新鮮干燥的空氣作為檢測空氣；

通過高精度質譜儀對所述檢測空氣中稀有氣體的同位素進行檢測，獲得一個有效測試結果，從而根據所述有效測試結果對所述待測高精度質譜儀的檢出限進行評估。

9.根據權利要求8所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法還包括：在獲取新鮮干燥的空氣作為檢測空氣前，通過所述加熱結構和所述加熱帶對所述檢測裝置進行烘烤除氣處理，用于去除水氣和碳氫化合物，并在烘烤除氣處理后進行系統極限真空度和清潔度檢測。

10.根據權利要求8所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法還包括：在獲取新鮮干燥的空氣作為檢測空氣后，所述封閉離子源通過所述金屬細管與大氣采樣閥內連通，獲得檢測空氣，從而避免了所述真空腔室的本底干擾。