[發明專利]太陽能電池片濕氧擴散工藝

在審

• 申請號: 201810620346.X
• 申請日: 2018-06-15
• 公開（公告）號: CN108831958A
• 公開（公告）日: 2018-11-16
• 發明（設計）人: 袁華斌;王晨;符亮;張凱勝;姚偉忠;孫鐵囤
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
• 代理人: 朱麗莎

1.一種太陽能電池片濕氧擴散工藝，其特征在于：包括如下步驟：

1)進舟：管內溫度控制在800℃±10℃，通有5±0.05L/min的氮氣，壓力值為100±0.2Kpa，時間1120s，進舟速度為800±10mm/min；

2)抽真空：管內溫度控制在800℃±10℃，無氣體通入，真空泵工作，保證爐管內壓力值為10±0.2Kpa，時間300s；

3)檢漏：管內溫度控制在800℃±10℃，無氣體通入，真空泵停止工作，保證爐管內壓力值為100±0.2Kpa，時間60s；

4)干氧氧化：管內溫度控制在800℃±10℃，通有1.4±0.05L/min的大氮，1.0±0.05L/min的大氧，保證爐管內壓力值為15±0.2Kpa，時間500s；

5)一次通源：管內溫度控制在800℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通過溫度在20±1℃的源瓶，將源帶出，保證爐管內壓力值為10±0.2Kpa，時間310s；

6)一次推結：管內溫度控制在810℃±10℃，升溫速率為5±1℃/min，通有2±0.05L/min的氮氣，保證爐管內壓力值為10±0.2Kpa，時間205s；

7)二次通源：管內溫度控制在810℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通過溫度在20±1℃的源瓶，將源帶出，保證爐管內壓力值為10±0.2Kpa，時間310s；

8)二次推結：管內溫度控制在825℃±10℃，升溫速率為5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保證爐管內壓力值為10±0.2Kpa，時間480s；

9)三次通源：管內溫度控制在825℃±10℃，通有0.8±0.05L/min的大氮,0.2±0.05L/min的大氧，以及0.8±0.05L/min的小氮，其中小氮通過溫度在20±1℃的源瓶，將源帶出，保證爐管內壓力值為10±0.2Kpa，時間200s；

10)三次推結：管內溫度控制在845℃±10℃，升溫速率為5±1℃/min，通有2.0±0.05L/min的大氮，保證爐管內壓力值為10±0.2Kpa，時間300s；

11)恒溫氧化：管內溫度控制在845℃±10℃，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通過溫度在20±1℃的水瓶，將水帶出，保證爐管內壓力值為10±0.2Kpa，時間300s；

12)降溫氧化：管內溫度控制在760℃±10℃，降溫速率為6±2℃/min，通有0.5±0.05L/min的大氮，2.0±0.05L/min的小氧，其中小氧通過溫度在20±1℃的水瓶，將水帶出，保證爐管內壓力值為10±0.2Kpa，時間2000s；

13)充氣：管內溫度控制在760℃±10℃，降溫速率為20±5℃/min，通有3±0.05L/min的氮氣，保證爐管內壓力值為100±0.2Kpa，時間200s；

14)出舟：管內溫度控制在800℃±10℃，通有2±0.05L/min的氮氣，爐管內壓力值為100±0.2Kpa，時間1000s，出舟速度為500±10mm/min。