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[發明專利]一種低濃度標準氣體持續發生裝置及其發生方法在審

專利信息
申請號: 201810616981.0 申請日: 2018-06-15
公開(公告)號: CN108554207A 公開(公告)日: 2018-09-21
發明(設計)人: 謝雷;楊雁南;沈飛宙 申請(專利權)人: 上海雷密傳感技術有限公司
主分類號: B01F3/02 分類號: B01F3/02;B01F15/04;B01F15/00
代理公司: 北京東正專利代理事務所(普通合伙) 11312 代理人: 張亦華
地址: 201807 上海市*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 發生裝置 配氣管路 氣源室 主氣室 連通 低濃度標準氣體 進氣管路 控制裝置 傳質 標準氣體 控制氣室 氣室壓力 室內安裝 出氣端 可配置 傳感器 氣泵 有壓 主氣 輸出
【權利要求書】:

1.一種低濃度標準氣體持續發生裝置,其特征在于,包括進氣管路(1)、氣源室(2)、主氣室(3)和配氣管路(7),氣源室通過第一氣泵(4)與主氣室連通,主氣室內安裝有壓差傳感器(5),主氣室的出氣端通過傳質控制裝置(6)與配氣管路(7)連通,進氣管路分別與氣源室和配氣管路連通。

2.根據權利要求1所述的低濃度標準氣體持續發生裝置,其特征在于,進氣管路包括依次連通的第一過濾器(12)、第二氣泵(13)和流量傳感器(14)。

3.根據權利要求1所述的低濃度標準氣體持續發生裝置,其特征在于,氣源室為內裝有固定量氣源溶液的容器。

4.根據權利要求1所述的低濃度標準氣體持續發生裝置,其特征在于,氣源室與第一氣泵之間還連通有第二過濾器(8)和中轉氣室(9)。

5.根據權利要求1所述的低濃度標準氣體持續發生裝置,其特征在于,傳質控制裝置(6)為毛細管、針閥、惰性多孔透氣膜或采用惰性多孔透氣材料制成的其他部件。

6.根據權利要求1所述的低濃度標準氣體持續發生裝置,其特征在于,主氣室為容積可變的氣室結構。

7.根據權利要求6所述的低濃度標準氣體持續發生裝置,其特征在于,主氣室內設置有移動活塞或伸縮氣囊。

8.根據權利要求6所述的低濃度標準氣體持續發生裝置,其特征在于,主氣室為由柔性惰性材料制成的氣袋。

9.一種利用權利要求1至8任一所述的發生裝置的低濃度標準氣體持續發生方法,其特征在于,該方法包括以下步驟:

1)由已知體積的干凈空氣通過進氣管路(1)將氣源室(2)中的固定量氣源全部吹掃到主氣室(3)中,獲得已知較高濃度的目標氣體;

2)控制并保持傳質控制裝置(6)兩端壓差恒定,已知較高濃度的目標氣體通過傳質控制裝置(6)流入配氣管路(7)中;

3)已知流量的干凈氣體通過進氣管路(1)流入配氣管路(7)中,稀釋配氣管路(7)中已知較高濃度的目標氣體并流出,持續獲得低濃度目標標準氣體。

10.根據權利要求9所述的低濃度標準氣體持續發生方法,其特征在于,步驟2)中,保持傳質控制裝置(6)兩端壓差恒定是通過壓差傳感器的壓差測量并及時反饋、調整主氣室(3)中的氣體體積來實現。

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