[發明專利]提高抗污膜的附著力的方法在審
| 申請號： | 201810609062.0 | 申請日： | 2018-06-13 |
| 公開（公告）號： | CN110465203A | 公開（公告）日： | 2019-11-19 |
| 發明（設計）人： | 徐逸明 | 申請（專利權）人： | 馗鼎奈米科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D67/00 | 分類號： | B01D67/00;B01D69/12 |
| 代理公司： | 11006 北京律誠同業知識產權代理有限公司 | 代理人： | 徐金國<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址： | 中國臺灣臺南市永康區亞*** | 國省代碼： | 中國臺灣;TW |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 改質 抗污 鍍膜 附著力 官能基 前驅物 氧分子 硅碳 基板 氫氧 鍍膜表面 烘烤 鍵結 制程 | ||
1.一種提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，該提高抗污膜的附著力的方法包含：
提供一基板；
形成一改質鍍膜于該基板的一表面上，其中形成該改質鍍膜時包含使用一前驅物，該前驅物包含硅碳氧分子；
涂布一抗污分子于該改質鍍膜上；以及
進行一烘烤制程。
2.根據權利要求1的提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，該基板為一非玻璃基板、或一鍍膜表面不具氧化硅層的一基板。
3.根據權利要求1的提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，形成該改質鍍膜時包含利用一大氣電漿沉積制程，且該前驅物包含氣體或液體。
4.根據權利要求1的提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，該改質鍍膜包含氧化硅。
5.根據權利要求1的提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，該改質鍍膜包含二氧化硅、氧化硅、及/或碳氧化硅。
6.根據權利要求1的提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，形成該改質鍍膜時包含形成多個氫氧官能基于該改質鍍膜的一表面上。
7.根據權利要求1的提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，進行該烘烤制程時包含將一烘烤溫度控制在50℃至200℃。
8.根據權利要求1的提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，于形成該改質鍍膜前，該提高抗污膜的附著力的方法還包含對該基板的該表面進行一大氣電漿清潔處理。
9.根據權利要求1的提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，于形成該改質鍍膜后，該提高抗污膜的附著力的方法還包含對該改質鍍膜進行一大氣電漿改質處理，以在該改質鍍膜的一表面上形成多個氫氧官能基。
10.根據權利要求1的提高抗污膜的附著力的方法，其特征在于，該改質鍍膜的厚度等于或小于100納米。
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