[發明專利]共焦位移傳感器

有效

• 申請號: 201810607417.2
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN109084684B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: 武井英人;坂口富一
• 申請（專利權）人: 株式會社基恩士
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 北京格羅巴爾知識產權代理事務所(普通合伙) 11406
• 代理人: 孫德崇

1.一種共焦位移傳感器，其使用共焦光學系統對測量對象的位移進行測量，

所述共焦位移傳感器包括：

投光用光源，其被構造為產生具有多個波長的光；

第一光纖，從所述投光用光源出射的光被輸入到所述第一光纖的第一入射端，所述第一光纖從第一出射端輸出所述光；

第二光纖，所述第二光纖的第二入射端被布置為與所述第一出射端相對，所述第二光纖從第二出射端出射經由所述第二入射端輸入的光；

光學構件，其被構造為在經由所述第二出射端的端面出射的檢測光上引起軸向色像差并且使所述檢測光朝向所述測量對象會聚；

分光器，其被構造為在經由所述光學構件照射于所述測量對象的所述檢測光中使如下的一部分檢測光光譜分散，并且產生代表各波長的受光強度的受光信號，其中，所述一部分檢測光是通過在聚焦于所述測量對象的同時被反射而穿過所述第二出射端的端面的檢測光；

測量控制部，其被構造為基于所述受光信號計算所述測量對象的位移；

光纖連接部，其被構造為使所述第二入射端可拆卸地連接到所述第一出射端；以及

折射率匹配材料，其被布置于所述第一出射端與所述第二入射端之間且與所述第一出射端的端面和所述第二入射端的端面兩者接觸，并且被構造為減小所述第一光纖與所述第二光纖之間的折射率的變化，其中，

所述第二出射端具有相對于與所述第二光纖的中心軸線垂直的平面以第一傾斜角度傾斜的端面，并且

所述第二入射端和所述第一出射端分別具有以第二傾斜角度傾斜的端面，所述第二傾斜角度為5°以上且15°以下。

2.根據權利要求1所述的共焦位移傳感器，其特征在于，所述共焦位移傳感器還包括：

頭殼體，其被構造為在內部收納所述光學構件和所述第二出射端；以及

控制殼體，其被構造為在內部收納所述投光用光源、所述第一光纖、所述分光器和所述測量控制部并且被布置為使所述光纖連接部從前面露出，其中，

所述折射率匹配材料是片狀的并貼到所述光纖連接部的接合面。

3.根據權利要求1所述的共焦位移傳感器，其特征在于，所述折射率匹配材料是固體或凝膠狀。

4.根據權利要求1所述的共焦位移傳感器，其特征在于，所述第二傾斜角度小于所述第一傾斜角度。

5.根據權利要求1所述的共焦位移傳感器，其特征在于，所述第一傾斜角度為13°以上。

6.根據權利要求2所述的共焦位移傳感器，其特征在于，使用粘接劑將所述折射率匹配材料固定到所述控制殼體側的接合面。