[發明專利]一種激光頭除塵裝置、激光器有效
| 申請號: | 201810606223.0 | 申請日: | 2018-06-13 |
| 公開(公告)號: | CN108890125B | 公開(公告)日: | 2020-06-30 |
| 發明(設計)人: | 劉宏茂 | 申請(專利權)人: | 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | B23K26/142 | 分類號: | B23K26/142 |
| 代理公司: | 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙) 44238 | 代理人: | 孫威;潘中毅 |
| 地址: | 518000 廣東省深*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 激光頭 除塵 裝置 激光器 | ||
1.一種激光頭除塵裝置,其特征在于,包括:
激光束出口腔,所述激光束出口腔的一側具有激光束發射口;
設在所述激光束出口腔外側的負壓腔,所述負壓腔具有和所述激光束發射口相連通的負壓腔連通口,所述激光束出口腔和所述負壓腔之間具有第一隔擋壁;
設在所述負壓腔外側的壓縮空氣進氣通道,所述壓縮空氣進氣通道和所述負壓腔連通口相連通,所述壓縮空氣進氣通道和所述負壓腔之間具有第二隔擋壁;其中:
所述第一隔擋壁具有自所述激光束發射口向所述負壓腔平滑過渡的第一端頭,所述第一端頭為曲面;所述第二隔擋壁具有自所述負壓腔向所述壓縮空氣進氣通道平滑過渡的第二端頭,所述第二端頭為曲面。
2.如權利要求1所述的激光頭除塵裝置,其特征在于,所述壓縮空氣進氣通道通入壓縮氣體并由所述負壓腔排出,所述第一端頭處產生自所述激光束發射口向所述負壓腔進行流動的氣體流場,所述第二端頭處產生自所述壓縮空氣進氣通道向所述負壓腔進行流動的氣體流場,用以將激光束產生的灰塵吸走。
3.如權利要求1所述的激光頭除塵裝置,其特征在于,還包括:與所述負壓腔相連通的負壓頭,其中:所述負壓腔為環腔結構。
4.如權利要求3所述的激光頭除塵裝置,其特征在于,所述負壓腔的腔體自所述負壓腔連通口的一端向其相對的另一端漸縮收窄。
5.如權利要求1所述的激光頭除塵裝置,其特征在于,還包括:與所述壓縮空氣進氣通道相連通的多個壓縮空氣進口,其中:所述壓縮空氣進氣通道呈環狀。
6.如權利要求5所述的激光頭除塵裝置,其特征在于,所述多個壓縮空氣進口等距均勻排布。
7.如權利要求3或4所述的激光頭除塵裝置,其特征在于,還包括:與所述壓縮空氣進氣通道相連通的多個壓縮空氣進口,其中:所述壓縮空氣進氣通道呈環狀。
8.如權利要求7所述的激光頭除塵裝置,其特征在于,所述壓縮空氣進口和所述負壓頭的中空腔體分別呈圓柱形,所述壓縮空氣進口的中心軸線和所述負壓頭的中心軸線平行。
9.如權利要求1所述的激光頭除塵裝置,其特征在于,所述激光束發射口呈漏斗形。
10.一種激光器,其特征在于,所述激光器包括如權利要求1-9任一項所述的激光頭除塵裝置。
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