[發明專利]基于微通道板的可調制X射線產生裝置及方法

在審

• 申請號: 201810604658.1
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN108922842A
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發明（設計）人: 史鈺峰;宋曉林;高爽;邵思霈;宮超林;王文叢;孫書坤;胡慧君;宋娟
• 申請（專利權）人: 山東航天電子技術研究所
• 主分類號: H01J35/06
• 分類號: H01J35/06;H01J35/04
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 仇蕾安;付雷杰

1.基于微通道板的可調制X射線產生裝置，其特征在于，所述裝置包括光陰極、微通道板、柵網電極、陽極靶、真空系統及高壓電源；

所述微通道板的前板和背板提供偏轉電壓，用于使光電陰極產生的電子進行多次倍增；

所述柵網電極為兩個，微通道板的背板與其中一個柵網電極形成無場區，所述柵網電極與另一個柵網電極構成均勻電場；

所述陽極靶用于使經過均勻電場加速的電子轟擊后產生X射線；

所述光陰極、微通道板、柵網電極及陽極靶設置在真空系統中，所述高壓電源為微通道板、柵網電極及陽極靶供電，通過調節所述偏轉電壓、均勻電場及陽極靶的電壓實現X射線的調制。

2.如權利要求1所述的基于微通道板的可調制X射線產生裝置，其特征在于，所述真空系統還包括獨立的真空腔體和真空閥，光陰極、微通道板、柵網電極及陽極靶設置在所述真空腔體中，在X射線的出射方向設置真空閥，真空閥將真空腔體和真空系統連通。

3.如權利要求1所述的基于微通道板的可調制X射線產生裝置，其特征在于，所述高壓電源采用電阻分壓供電。

4.如權利要求1所述的基于微通道板的可調制X射線產生裝置，其特征在于，兩個柵網電極為兩個平行板。

5.如權利要求1所述的基于微通道板的可調制X射線產生裝置，其特征在于，所述光陰極采用多堿光陰極。

6.基于微通道板的可調制X射線產生方法，其特征在于，所述方法為光陰極受激光照射產生電子，通過調節微通道板的偏轉電壓來控制電子的倍增系數，進行多次電子倍增輸出二次電子，所述二次電子經過無場區后進入加速區，加速的二次電子轟擊陽極靶產生X射線。

7.如權利要求6所述的基于微通道板的可調制X射線產生方法，其特征在于，所述加速區的形成方式為：通過在兩個柵網電極上施加電壓形成壓差實現，所述兩個柵網電極為兩個平行板。

8.如權利要求6所述的基于微通道板的可調制X射線產生方法，其特征在于，所述陽極靶與二次電子的入射方向呈45°。