[發(fā)明專利]一種微小孔磨粒流體拋光夾具

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810604230.7
• 申請(qǐng)日: 2018-06-13
• 公開（公告）號(hào): CN108705457A
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 褚依輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B24C9/00
• 分類號(hào): B24C9/00;B24C1/08
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

本發(fā)明工裝為一種微小孔磨粒流體拋光夾具。包括4層結(jié)構(gòu)，上導(dǎo)流板，下導(dǎo)流板，上襯板，下襯板四部分構(gòu)成，利用米思米球頭精密定位銷定位，保證磨粒通過工裝與零件各孔位時(shí)不會(huì)出現(xiàn)孔錯(cuò)位導(dǎo)致通路堵死而不能排出磨料而失效。由上導(dǎo)流板引導(dǎo)磨料從出料口引入，構(gòu)建通路，設(shè)定好各位置的通路，從下導(dǎo)流板出料，進(jìn)而達(dá)到流體拋光微小孔的效果，保證設(shè)計(jì)圖紙的粗糙度要求。一次裝夾即可完成，無需再重復(fù)放置在不同的位置上，增加研磨時(shí)間，提高效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于機(jī)械制造業(yè)技術(shù)領(lǐng)域，IC裝備零部件的零件中對(duì)微小孔精度及粗糙度要求很高，不允許孔內(nèi)有毛刺，但直徑在￠0.3mm以下的微小孔不能通過人工去除毛刺，所以只能通過專門的磨粒流體拋光設(shè)備來完成，而必須根據(jù)零件的具體形狀及孔的分布情況來設(shè)計(jì)專用的工裝夾具才能完成。

背景技術(shù)

隨著電子集成電路，智能制造的快速發(fā)展和普及，對(duì)于IC裝備的需求量也日益增加。國家也將集成電路制造歸到9大專項(xiàng)中的02專項(xiàng)進(jìn)行攻關(guān)和研發(fā)。云氣盤就是IC裝備中一種重要的零部件，其特點(diǎn)是，盤類回轉(zhuǎn)體，上面均勻分布幾百上千個(gè)微小孔，直徑在￠0.5mm以下，這樣的微小孔需要使用超高轉(zhuǎn)速加工中心來保證孔的直徑公差及位置度要求。但是孔內(nèi)毛刺是難以去除的，并且云氣盤的小孔對(duì)于粗糙度也是有要求的。因此需要采用專門的磨粒流設(shè)備配合專用的工裝夾具才能達(dá)到去除毛刺，改善孔內(nèi)粗糙度質(zhì)量達(dá)到設(shè)計(jì)圖紙的要求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是一種微小孔磨粒流體拋光夾具，

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種微小孔磨粒流體拋光夾具，包括上導(dǎo)流板，下導(dǎo)流板，上襯板，下襯板，精密定位銷，精密襯套；

下導(dǎo)流板上部通過精密襯套和精密定位銷設(shè)有下襯板；下襯板通過精密定位銷設(shè)有零件；

零件上部通過精密定位銷設(shè)有上襯板，上襯板上部精密襯套和精密定位銷設(shè)有上導(dǎo)流板。

上導(dǎo)流板，鋁合計(jì)材質(zhì)，引入磨料口尺寸與磨粒流下料孔尺寸一致，通過內(nèi)部結(jié)構(gòu)達(dá)到擴(kuò)散磨料流動(dòng)方向，擴(kuò)大磨粒流接觸零件微小孔分度圓直徑范圍，安裝到整體結(jié)構(gòu)的第一層。

上襯板，材質(zhì)為鋁合金，根據(jù)零件的形狀設(shè)計(jì)出于零件上表面相接觸的結(jié)構(gòu)，保證導(dǎo)孔孔位于零件一致，安裝到整體結(jié)構(gòu)的第二層。

下襯板，材質(zhì)為鋁合金，根據(jù)零件的形狀設(shè)計(jì)出于零件下表面相接觸的結(jié)構(gòu)，保證導(dǎo)孔孔位于零件一致，安裝到整體結(jié)構(gòu)的第三層。

下導(dǎo)流板，鋁合計(jì)材質(zhì)，導(dǎo)出磨料口尺寸與磨粒流出料口尺寸一致，通過內(nèi)部結(jié)構(gòu)達(dá)到收集磨料流動(dòng)方向，使分散的磨料通過出料口的引導(dǎo)，統(tǒng)一從出料口導(dǎo)出，安裝到整體結(jié)構(gòu)的第四層。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：

1.工裝設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用，使用鋁合金材質(zhì)，保證工裝重量輕，便于單個(gè)操作者能夠搬運(yùn)和裝夾。

2.通過上下導(dǎo)流板的連接，使磨料從導(dǎo)流口引入和導(dǎo)出，來回循環(huán)，上下導(dǎo)流板就是連接磨粒流設(shè)備磨料口的通道口

3.通過導(dǎo)流口來覆蓋所有孔位的面積，一次裝夾操作即可完成所有微小孔的磨削加工，不需要多次裝夾。

4.本發(fā)明加工簡單，使用性強(qiáng)，操作方便，節(jié)省大量人工準(zhǔn)備時(shí)間，并且保證研磨的效果和質(zhì)量。

附圖說明

圖1為云氣盤零件孔位示意圖。

圖2為工裝組裝及工作示意圖。

圖3為發(fā)明上導(dǎo)流板示意圖。

圖4為圖3的D-D剖視圖。

圖5為發(fā)明下導(dǎo)流板示意圖。

圖6為發(fā)明上襯板示意圖。