[發明專利]一種采用金剛線的硅片切割液循環系統及方法

在審

• 申請號: 201810603654.1
• 申請日: 2018-06-12
• 公開（公告）號: CN108793554A
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 劉坤;韓志純;張良恒;任文星;吳勇;侯永標
• 申請（專利權）人: 山東大海新能源發展有限公司
• 主分類號: C02F9/10
• 分類號: C02F9/10;C02F103/34
• 代理公司: 濟南千慧專利事務所(普通合伙企業) 37232
• 代理人: 吳紹群

1.一種采用金剛線的硅片切割液循環系統，其特征在于，包括：

收集單元，具有容置已使用切割液的收集室；

熱交換單元，包括：盛放熱交換介質的熱交換室；由交換介質完全浸沒的換熱管，所述換熱管的入口端流體連通所述收集室；盛放于熱交換室的熱交換介質；

壓濾分離單元，具有液體入口，壓濾清液出口及污泥排放口；所述液體入口與換熱管的出口端流體連通；

清液回用單元，具有容置壓濾清液的回收室，所述回收室與所述壓濾清夜出口流體連通，所述回收室流體連通用以向硅片切割設備供應切割液的供應單元。

2.如權利要求1所述的采用金剛線的硅片切割液循環系統，其特征在于，所述換熱管為盤管或列管。

3.如權利要求1所述的采用金剛線的硅片切割液循環系統，其特征在于，所述壓濾分離單元為板框式壓濾機或帶式壓濾機。

4.如權利要求1所述的采用金剛線的硅片切割液循環系統，其特征在于，還包括增壓單元，所述增壓單元設置于流體連通壓濾分離單元的液體入口與換熱管的出口的管路上。

5.如權利要求1所述的采用金剛線的硅片切割液循環系統，其特征在于，所述收集單元，包括：

所述第一收集室；

頂流與所述第一收集室的底流流體連通的第二收集室；

與所述第二收集室的流體連通的排放管道。

6.如權利要求5所述的采用金剛線的硅片切割液循環系統，其特征在于，所述第一收集室的底流與所述第二收集室的頂流通過連通通道流體連通，并且流體通過溢流方式從連通通道流入第二收集室；所述連通通道的截面面積沿流體流向逐漸增大。

7.如權利要求5所述的采用金剛線的硅片切割液循環系統，其特征在于，所述第二收集室的底流與排放管道流體連通；所述第二收集室內設置有將第二收集室分隔為第一腔室及第二腔室的過濾單元，所述過濾單元具有過濾孔，流體連通排放管道的第一收集室的底流設置于所述第一腔體；所述第二收集室的側壁開設有開口，所述過濾單元的下端由設置于所述第二收集室的底壁的凸起止動過濾單元的下端遠離開口的運動趨勢，所述過濾單元的上端搭置或連接于開口的下沿。

8.如權利要求7所述的采用金剛線的硅片切割液循環系統，其特征在于，所述開口處設置有封口組件，所述封口組件可打開或封閉，打開時，所述開口與外界連通，且過濾單元可通過開口從第二收集室內取出；封閉時，封口組件構成第二收集室的外壁的一部分，隔絕所述開口與外界的連通。

9.一種采用金剛線的硅片切割液循環方法，包括以下步驟：

收集已使用切割液；

對已使用切割液進行熱交換使其溫度降低至設定閾值；

對降溫后的切割進行壓濾分離，回收分離得到的壓濾清液循回用作為新的切割液。

10.如權利要求9所述的采用金剛線的硅片切割液循環方法，其特征在于，所述對已使用切割液進行熱交換包括：

由通過將切割液與硅片切割后進行脫膠處理的脫膠液或制備脫膠液的溶劑進行熱交換。