[發明專利]缺陷檢測方法以及缺陷檢測裝置

有效

• 申請號: 201810601368.1
• 申請日: 2018-06-12
• 公開（公告）號: CN109030624B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 畠堀貴秀;長田侑也;田窪健二
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01N29/04
• 分類號: G01N29/04;G01N29/48;G01N29/44
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種缺陷檢測方法，其特征在于，包括：

a)位移統括測定工序，一邊在被檢查物體的整個檢查區域內激發第1彈性波，一邊對該檢查區域內的該被檢查物體的整個表面進行頻閃照明，并控制所述彈性波的相位和所述頻閃照明的時刻，由此，在該彈性波的互不相同的至少3個相位下統括測定所述檢查區域的各點的前后方向的位移；

b)缺陷位置確定工序，根據所述至少3個相位下的所述檢查區域的各點的前后方向的位移，來確定缺陷在該檢查區域的表面上的位置即表面位置；以及

c)深度方向信息獲取工序，從所述被檢查物體的表面的限定區域內朝所述表面位置的內部投射第2彈性波，并根據其響應波來求該缺陷的深度方向的位置及/或大小，所述被檢查物體的表面是包含通過所述缺陷位置確定工序確定到的表面位置的表面。

2.根據權利要求1所述的缺陷檢測方法，其特征在于，

所述第2彈性波的頻率大于所述第1彈性波的頻率。

3.根據權利要求1或2所述的缺陷檢測方法，其特征在于，

通過共用的振動器來進行所述第1彈性波的激發、所述第2彈性波的投射以及所述響應波的檢測中的兩方或三方。

4.根據權利要求1或2所述的缺陷檢測方法，其特征在于，

通過共用的振蕩電路來進行所述第1彈性波的激發和所述第2彈性波的投射。

5.根據權利要求1或2所述的缺陷檢測方法，其特征在于，

通過散斑剪切干涉法來統括測定所述至少3個相位下的所述檢查區域的各點的前后方向的位移。

6.一種缺陷檢測裝置，其特征在于，具備：

a)第1彈性波激勵部，其在被檢查物體中激發第1彈性波；

b)照明部，其對所述被檢查物體的表面的檢查區域進行頻閃照明；

c)位移測定部，其通過控制所述第1彈性波的相位和所述頻閃照明的時刻，從而在該彈性波的互不相同的至少3個相位下統括測定所述檢查區域各點的前后方向的位移；

d)第2彈性波投射部，其從所述被檢查物體的表面朝所述被檢查物體的內部投射第2彈性波；

e)響應波檢測部，其檢測所述第2彈性波的響應波；以及

f)深度方向信息獲取部，其根據所述響應波來求該缺陷的深度方向的位置及/或大小。