[發明專利]振動片、振子、電子器件、電子設備以及移動體

在審

• 申請號: 201810598432.5
• 申請日: 2014-02-20
• 公開（公告）號: CN108768339A
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發明（設計）人: 山崎隆
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/05
• 分類號: H03H9/05;H03H9/21
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;馬建軍

本發明提供振動片、振子、電子器件、電子設備以及移動體。該振動片具有：基部，其設置于平面上，該平面包含第1軸和垂直于所述第1軸的第2軸；連接部，其厚度比所述基部的厚度小，從所述基部起沿著所述第1軸延伸設置；以及振動臂，其從所述連接部的一端起沿著所述第1軸延伸設置，所述振動臂相對于所述平面沿著垂直方向進行彎曲振動，所述連接部被設置成：所述連接部在所述第1軸的方向上的長度L2與所述振動臂在所述第1軸的方向上的長度L1之間的關系處于L1/15≤L2≤L1的范圍內。

本申請是申請日為2014年2月20日，國家申請號為201410057919.4，發明名稱為“振動片、振子、電子器件、電子設備以及移動體”的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及振動片以及搭載有該振動片的振子、電子器件、電子設備、移動體。

背景技術

伴隨振動器件的小型化，為了在維持與以往同等特性的同時實現小型化，采用如下的振動片。具體而言，是如下的振動片：采用具有從基部朝相同方向延伸出的3個振動臂的構造，在各振動臂的一面上層疊電極膜和壓電體膜而形成壓電體元件(例如參照專利文獻1、專利文獻2)。

但是，在專利文獻1所示的振動片中，振動片的振動特性有時會由于振動臂的振動傳播到支撐振動臂的基部的所謂振動泄漏而劣化。與此相對，在專利文獻2所示的振動片中，通過在振動臂與基部之間設置寬度比基部窄的細寬度的緩沖部，抑制了振動泄漏。

【專利文獻1】日本特開2012-34093號公報

【專利文獻2】日本特開2008-224628號公報

但是，在上述專利文獻2所示的振動片中，由于在基部與振動臂之間設置了細寬度的緩沖部，因此，在向振動片施加例如下落等沖擊的情況下，沖擊的應力集中到細寬度的緩沖部，從而在緩沖部的位置處振動片可能被損壞。在本發明中，提供耐沖擊性優異且可抑制振動泄漏的產生的振動片。

發明內容

本發明正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，其可以作為以下的方式或應用例來實現。

[應用例1]本應用例的振動片的特征在于，該振動片包含：基部，其設置在包含第1軸和垂直于所述第1軸的第2軸的平面上；連接部，其從所述基部起沿著所述第1軸以比所述基部的厚度薄的厚度延伸設置；以及振動臂，其從所述連接部的一端起沿著所述第1軸延伸設置，所述振動臂沿著與所述平面垂直的方向進行彎曲振動，所述連接部被設置成所述連接部在所述第1軸的方向上的長度L2與所述振動臂在所述第1軸的方向上的長度L1之間的關系處于L1/15≤L2≤L1的范圍內。

根據本應用例，從基部起沿著所述第1軸設置有連接部，被設置成連接部在第1軸的方向上的長度L2與振動臂在第1軸的方向上的長度L1之間的關系處于L1/15≤L2≤L1的范圍內。通過設為這種結構，能夠得到如下的振動片，該振動片可防止耐沖擊性的劣化，同時抑制振動臂的振動在連接部衰減而引起的向基部傳播振動(振動泄漏)。

[應用例2]在上述應用例所述的振動片中，其特征在于，所述振動臂具有并行設置的第1振動臂和第2振動臂，所述第1振動臂與所述第2振動臂相互朝相反方向進行彎曲振動。

根據本應用例，能夠得到如下的振動片，該振動片可防止耐沖擊性的劣化，同時抑制相互朝相反方向進行彎曲振動的振動臂的振動在連接部抵消而引起的向基部傳播振動(振動泄漏)。

[應用例3]在上述應用例所述的振動片中，其特征在于，所述振動臂的厚度與所述連接部相同。

根據本應用例，能夠通過將振動臂的厚度與連接部的厚度設為相同，減少在振動臂進行彎曲振動時應力集中于振動臂的根部。

[應用例4]在上述應用例所述的振動片中，其特征在于，所述基部、所述連接部以及所述振動臂由石英構成。