[發(fā)明專(zhuān)利]一種工作頻率可調(diào)的非制冷型太赫茲探測(cè)器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810598248.0
• 申請(qǐng)日: 2018-06-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108831988A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘曉航;沈宏;郝加明;王建祿;孟祥建;戴寧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L37/02
• 分類(lèi)號(hào): H01L37/02
• 代理公司: 上海滬慧律師事務(wù)所 31311
• 代理人: 郭英

1.一種工作頻率可調(diào)的非制冷太赫茲探測(cè)器，包括金屬微結(jié)構(gòu)(1)、介質(zhì)腔層(2)、匹配層(3)、金屬薄膜層(4)和柔性襯底層(5)，其特征在于：

器件的結(jié)構(gòu)為：自上而下依次是金屬微結(jié)構(gòu)(1)、介質(zhì)腔層(2)、匹配層(3)、金屬薄膜層(4)、柔性襯底層(5)；或者是金屬微結(jié)構(gòu)(1)、介質(zhì)腔層(2)、金屬薄膜層(4)、柔性襯底層(5)；金屬微結(jié)構(gòu)(1)兼做上電極，金屬薄膜層(4)用作下電極；

所述的金屬微結(jié)構(gòu)(1)的材料是金、銀、銅、鋁、鎢、鉭、或錸，微結(jié)構(gòu)的形狀是條形光柵、圓形孔、方形孔、多邊形或十字形，厚度為30-50nm；

所述的介質(zhì)腔層(2)是聚偏氟乙烯、聚偏氟乙烯二元聚合物、聚偏氟乙烯三元聚合物、鈦酸鍶鋇、鋯鈦酸鉛或氧化鋅薄膜，介質(zhì)腔層的厚度利用時(shí)域有限差分方法、邊界元或有限元方法通過(guò)仿真設(shè)計(jì)確定；

所述的匹配層(3)是鉻、鈦或鎳層，厚度為5-10nm；

所述的金屬薄膜層(4)的材料是金、銀、銅、鋁、鎢、鉭、或錸，其厚度大于輻射源向金屬內(nèi)入射的穿透深度，為100-150nm；

所述的柔性襯底層(5)是無(wú)粘性的聚酰亞胺薄膜，厚度為5-10μm。