[發明專利]一種硅液溢流檢測設備及方法

在審

• 申請號: 201810594099.0
• 申請日: 2018-06-11
• 公開（公告）號: CN108411363A
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 張濤;肖貴云;黃晶晶;白梟龍
• 申請（專利權）人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

1.一種硅液溢流檢測設備，其特征在于，包括：

金屬絲；

與所述金屬絲的下端相連、用于判斷是否與鑄錠爐中的硅液面相接觸的液面探測裝置；

設置在鑄錠爐的上方、用于纏繞所述金屬絲，并在驅動裝置的驅動下調節所述金屬絲的長度的纏繞部。

2.根據權利要求1所述的硅液溢流檢測設備，其特征在于，所述液面探測裝置包括：

用于與硅液面相接觸的液面探測件；

與所述金屬絲相連、用于在所述金屬絲帶動所述液面探測件向硅液面移動的過程中，對所述金屬絲的拉力進行測量的測量器。

3.根據權利要求2所述的硅液溢流檢測設備，其特征在于，所述測量器具體為拉力傳感器。

4.根據權利要求2所述的硅液溢流檢測設備，其特征在于，所述測量器具體為速度傳感器。

5.根據權利要求2所述的硅液溢流檢測設備，其特征在于，所述液面探測件具體為陶瓷探測件。

6.根據權利要求5所述的硅液溢流檢測設備，其特征在于，所述陶瓷探測件具體為碳化硅探測件或氮化硅探測件。

7.根據權利要求1所述的硅液溢流檢測設備，其特征在于，所述金屬絲具體為鎢絲、鉬絲、不銹鋼鋼絲中的任意一種。

8.一種硅液溢流檢測方法，其特征在于，基于如權利要求1至7任一項所述的硅液溢流檢測設備，包括：

當金屬絲在纏繞部的帶動下使液面探測裝置與硅液面相接觸時，記錄所述金屬絲的當前長度；

將所述當前長度與所述金屬絲的參考長度進行比對；

若所述當前長度大于所述參考長度，則硅液發生溢流；若所述當前長度不大于所述參考長度，則硅液未發生溢流。

9.根據權利要求8所述的硅液溢流檢測方法，其特征在于，在硅料完全熔化階段，所述參考長度具體為硅料完全熔化時所述金屬絲所對應的理論長度；

在硅液定向凝固階段，所述參考長度具體為所述液面探測裝置上次檢測時所述金屬絲所對應的長度。

10.根據權利要求8所述的硅液溢流檢測方法，在確定硅液未發生溢流之后，還包括：

在硅液定向凝固階段，利用所述金屬絲將所述液面探測裝置放入硅液中，以使所述液面探測裝置與多晶硅相接觸，記錄所述金屬絲的長度；

將記錄的長度與所述金屬絲位于坩堝底部時所對應的長度進行比較，以得到多晶硅的生長高度；

根據所述液面探測裝置探測的時間間隔以及所記錄的所述金屬絲長度的變化，得到多晶硅的生長速度。