[發(fā)明專利]一種具有類倒棱臺(tái)絨面結(jié)構(gòu)的金剛線切割多晶硅片及其制絨方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810584997.8
• 申請(qǐng)日: 2018-06-08
• 公開（公告）號(hào): CN108666380B
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 萬鵬;沈志妹;管自生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京納鑫新材料有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/0236
• 分類號(hào): H01L31/0236;H01L31/18
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 曹翠珍

1.具有類倒棱臺(tái)絨面結(jié)構(gòu)的金剛線切割多晶硅片的制絨方法，所述具有類倒棱臺(tái)絨面結(jié)構(gòu)的金剛線切割多晶硅片,具有以下特征：

（1）棱數(shù)為3到10棱之間；

（2）倒棱臺(tái)兩底面呈近似圓形或橢圓形，或方邊圓弧結(jié)合；

（3）孔底部棱臺(tái)面與硅片表面的夾角范圍在0°-90°之間；

（4）此結(jié)構(gòu)尺寸均勻、孔徑為400nm~1.5mm、孔深200~500nm；

在多晶硅硅片表面上，所述的類倒棱臺(tái)絨面結(jié)構(gòu)是隨機(jī)分布的，并相互之間有疊加；

其特征在于，包括如下步驟：

步驟一、多晶硅硅片表面損傷層去除：用堿拋法或者酸拋法去除多晶硅硅片表面損傷層；

步驟二、黑硅制作：采用金屬離子輔助刻蝕法進(jìn)行黑硅制作；

步驟三、多晶硅硅片表面修正：將上制的黑硅進(jìn)行表面修正、水洗后，浸入10%-45%雙氧水和1%-10%添加劑的混合溶液中，在多晶硅硅片表面制得類倒棱臺(tái)結(jié)構(gòu)；

所述的添加劑為聚乙烯吡咯烷酮、聚羧酸鈉、十八烷基二甲基胺乙內(nèi)酯的混合物；

步驟四、多晶硅硅片的清洗與烘干。

2.權(quán)利要求1所述的具有類倒棱臺(tái)絨面結(jié)構(gòu)的金剛線切割多晶硅片的制絨方法，其特征在于步驟三的表面修正是將黑硅置于含有10%-65%硝酸，1%-25%氫氟酸的溶液中浸泡，溫度為2-25℃，時(shí)間為30s-360s。

3.權(quán)利要求1所述的具有類倒棱臺(tái)絨面結(jié)構(gòu)的金剛線切割多晶硅片的制絨方法，其特征在于步驟三的所述的添加劑中聚乙烯吡咯烷酮、聚羧酸鈉、十八烷基二甲基胺乙內(nèi)酯的質(zhì)量比為1-2:1-2:1-2。