[發明專利]一種二維MEMS振鏡控制方法在審
| 申請號： | 201810584679.1 | 申請日： | 2018-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN108803005A | 公開（公告）日： | 2018-11-13 |
| 發明（設計）人： | 劉定 | 申請（專利權）人： | 北京大漢正源科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李靜 |
| 地址： | 100010 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 二維 分辨率 使用壽命延長 零度 偏轉 標志脈沖 角度標志 連續掃描 輸出電壓 轉動頻率 狀態采集 最大偏轉 可配置 輸出 脈沖 配置 驅動 改進 | ||
1.一種二維MEMS振鏡控制方法，包括對MEMS振鏡的驅動方法、對MEMS振鏡的狀態采集方法、對MEMS振鏡的可配置方法和對外輸出方法，其特征在于：所述對MEMS振鏡的驅動方法的主要內容為：使MEMS振鏡按照李薩如曲線進行偏轉；
所述對MEMS振鏡的狀態采集方法的主要內容為：使MEMS振鏡當前角度與MEMS振鏡的輸出電壓為一定關系，在此關系下，實時采集到的電壓即為角度數據；
所述對MEMS振鏡的可配置方法的主要內容為：利用ARM的SPI接口對MEMS振鏡的分辨率、最大偏轉角度和轉動頻率進行配置；
所述對外輸出方法的主要內容為：利用GPIO輸出零度標志脈沖及角度標志脈沖。
2.根據權利要求1所述的一種二維MEMS振鏡控制方法，其特征在于：所述對MEMS振鏡的驅動方法的具體內容為：
1）利用DAC生成兩個頻率不為整數倍數的正弦波，一個代表x軸，另一個代表y軸；
2）以水平方向為x軸，垂直方向為y軸，模擬李薩如曲線進行連續掃描。
3.根據權利要求1所述的一種二維MEMS振鏡控制方法，其特征在于：所述對MEMS振鏡的狀態采集方法的具體內容為：
1）在初始化時，采集無DAC輸入狀態下的MEMS振鏡的輸出電壓作為參考電壓值，為零度電壓值；
2）在正常工作狀態下，采集峰值電壓對應MEMS振鏡的最大偏轉角度值；
3）計算峰值電壓與零度電壓的差值，作為最大偏轉角度的壓差；
4）實時采集上述電壓值，計算當前角度的變化。
4.根據權利要求1所述的一種二維MEMS振鏡控制方法，其特征在于：所述對MEMS振鏡的可配置方法的具體內容為：
1）利用ARM的SPI接口對MEMS振鏡的分辨率、最大偏轉角度以及轉動頻率進行配置；
2）利用ARM的SPI接口讀取MEMS振鏡的配置；
3）利用ARM的SPI接口讀取MEMS振鏡的狀態；
4）利用ARM的SPI接口控制MEMS振鏡的工作與停止。
5.根據權利要求1所述的一種二維MEMS振鏡控制方法，其特征在于：所述對外輸出方法的具體內容為：
1）MEMS振鏡每從負角度到正角度掃描至零度位置便輸出一個脈沖，作為零度標志脈沖；
2）每增加或減小一個設定的角度間隔便輸出一個脈沖，作為角度標志脈沖；
3）所述零度標志脈沖和所述角度標志脈沖均利用GPIO輸出。
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