[發(fā)明專(zhuān)利]方便單層正膠剝離的金屬圖形加工方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810583861.5
• 申請(qǐng)日: 2018-06-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108803261A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任永碩;王榮華;王宏州;宋書(shū)寬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大連芯冠科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/42
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/42;G03F7/38
• 代理公司: 大連非凡專(zhuān)利事務(wù)所 21220
• 代理人: 閃紅霞

1.一種方便單層正膠剝離的金屬圖形加工方法，有在基片上勻正膠、前烘、曝光、顯影、制備金屬層及剝離步驟，其特征在于：所述曝光與顯影之間對(duì)光刻膠表面加熱處理0.5~30分鐘，使光刻膠表面與底面溫差為5~20℃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述方便單層正膠剝離的金屬圖形加工方法，其特征在于所述加熱處理是用紅外加熱燈管烘烤光刻膠表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述方便單層正膠剝離的金屬圖形加工方法，其特征在于所述加熱處理是用均勻熱風(fēng)吹向光刻膠表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述方便單層正膠剝離的金屬圖形加工方法，其特征在于加熱處理的同時(shí)對(duì)基片底部進(jìn)行降溫處理。