[發明專利]移送引導組件及基板移送裝置

在審

• 申請號: 201810582048.6
• 申請日: 2018-06-07
• 公開（公告）號: CN109148344A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 金基哲;樸奇洪;李昌鏞;崔峰滿;俞阿敏
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 延美花;臧建明

1.一種移送引導組件，其特征在于，包括：

本體，其具有平坦的板形狀；以及

接觸部，其與基板的一側棱角接觸且設置于所述本體的一側，

其中，所述移送引導組件在移送所述基板期間與所述基板一起浮起。

2.根據權利要求1所述的移送引導組件，其特征在于：

所述本體包括聚醚醚酮或陶瓷。

3.根據權利要求1所述的移送引導組件，其特征在于：

所述基板通過超聲波發生的浮起力與所述移送引導組件一起浮起。

4.一種基板移送裝置，用于移送浮在板上部的基板，其特征在于，包括：

移送引導組件，其包括具有平坦的板形狀的本體及與所述基板的一側棱角接觸且設置于所述本體的一側的接觸部，在移送所述基板期間與所述基板一起浮起；以及

驅動部件，其通過沿著移送方向驅動所述移送引導組件，沿著所述移送方向移送所述基板。

5.根據權利要求4所述的基板移送裝置，其特征在于：

所述移送引導組件包括聚醚醚酮或陶瓷。

6.根據權利要求4所述的基板移送裝置，其特征在于：

所述基板通過超聲波發生的浮起力與所述移送引導組件一起浮起。

7.根據權利要求4所述的基板移送裝置，其特征在于，還包括：

從所述移送引導組件向第一方向配置的第一延伸部及從所述驅動部件向第二方向配置的第二延伸部，

所述移送引導組件與所述驅動部件通過連接所述第一延伸部與所述第二延伸部相連接。

8.根據權利要求7所述的基板移送裝置，其特征在于：

所述第一延伸部結合于所述第二延伸部且能夠向所述第一方向移動。