[發明專利]具有圖案化基板的發光元件及其制作方法

有效

• 申請號: 201810579435.4
• 申請日: 2013-07-12
• 公開（公告）號: CN108878610B
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發明（設計）人: 張中英;王士瑋;蔡政達
• 申請（專利權）人: 晶元光電股份有限公司
• 主分類號: H01L33/20
• 分類號: H01L33/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 李文娟

1.一種發光元件，包含:

一圖案化基板，具有多個錐形體，且該多個錐形體的其中之一包含一頂部、一底部以及一傾斜側壁，該頂部具有一頂部寬度，該底部具有一底部寬度，而該傾斜側壁位于該頂部與該底部之間；以及

一發光層，形成于該多個錐形體上方，且該發光層包含一第一半導體層、一主動層以及一第二半導體層，該主動層可發出光線；

一中間層，該中間層形成于該圖案化基板上方，且具有一折射率，其中該錐形體的該頂部寬度大于0且小于(Wd/n_中間層)nm，其中Wd為該光線的主要波長，n_中間層為該中間層的折射率；

其中，該傾斜側壁的剖面包含一弧部，且該弧部具有一向外突起的弦部，該錐形體符合0＜B/(D1+S)≤0.2，D1為該底部寬度，B為該弧部與該弦部之間的一最大距離，S為一間距，該間距位于該多個錐形體中的兩個相鄰錐形體之間。

2.根據權利要求1所述的發光元件，其中，該錐形體的該底部與該弦部之間具有一夾角，且該夾角介于40°-60°之間。

3.根據權利要求1所述的發光元件，其中，位于該弧部與該弦部之間的一最大距離是小于0.5μm。

4.根據權利要求1所述的發光元件，其中，該錐形體的該頂部寬度與該錐形體的該底部寬度的比小于0.08。

5.根據權利要求1所述的發光元件，其中，該錐形體符合0.4≤H/(D1+S)≤0.6，H為該錐形體的一高度。

6.根據權利要求1所述的發光元件，其中，該頂部與該底部的面積比小于0.0064且大于0。

7.根據權利要求6所述的發光元件，其中，該多個錐形體以周期方式設置于基板上。

8.根據權利要求1所述的發光元件，其中，該錐形體符合0.01≤S/(D1+S)≤0.3。

9.一種發光元件，包含：一圖案化基板，具有多個錐形體，該多個錐形體各包含一頂部、一底部以及一側壁，該底部具有一底部寬度，該側壁位于該頂部與該底部之間；以及一發光層，形成于該多個錐形體上方，該發光層包含一第一半導體層、一主動層以及一第二半導體層；其中，一間距位于該多個錐形體中的兩個相鄰錐形體之間；其中，該多個錐形體的其中之一符合0.01≤S/(D1+S)≤0.3，D1為該底部寬度，S為該間距，

其中，該側壁的剖面包含一弧部，且該弧部具有一向外突起的弦部，該錐形體符合0＜B/(D1+S)≤0.2，B為該弧部與該弦部之間的一最大距離。

10.根據權利要求9所述的發光元件，其中，該多個錐形體以周期方式設置于該圖案化基板上，該頂部與該底部的面積比小于0.0064且大于0。