[發(fā)明專利]金屬電極的沉積方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810575540.0
• 申請日: 2018-06-06
• 公開（公告）號: CN108899756B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 逯心紅;郝潤豹;尚飛
• 申請（專利權(quán)）人: 青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01S5/028
• 分類號: H01S5/028;H01S5/042
• 代理公司: 北京博思佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

本發(fā)明公開了一種金屬電極的沉積方法，該方法包括：在晶圓表面蒸涂底膜；在所述晶圓的表面涂覆雙層光刻膠層，所述雙層光刻膠層覆蓋所述底膜；對雙層光刻膠層進行曝光、顯影，以顯現(xiàn)出特定沉積圖形；依次在所述沉積圖形上進行第一金屬和第二金屬沉積；將第三金屬以不同速率分次在所述第二金屬層上進行沉積；去除所述晶圓表面的光刻膠層，以在所述晶圓表面形成金屬電極圖形。本發(fā)明通過不同沉積速率搭配沉積的方式，可以較好地維持光刻膠的膠型，防止長時間高能量原子轟擊光刻膠，導(dǎo)致光刻膠變形塌陷，解決金屬剝離困難的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬電極的沉積方法。

背景技術(shù)

金屬電極沉積方法在半導(dǎo)體及微納技術(shù)中廣泛應(yīng)用，通常有電子束蒸發(fā)物理沉積方法和電化學(xué)方法。采用電子束蒸發(fā)方式垂直入射方向好，且金屬與半導(dǎo)體之間可獲得較好的粘附性，從而在激光器芯片表面形成金屬電路。在激光器芯片表面制作正面電極(p-電極)時，需要先進行黃光工藝，將特定的電路通道暴露出來，再采用金屬沉積方式進行長金。

在有光刻膠掩膜的金屬沉積工藝中，一般會采用雙層光刻膠形成雙層屋檐結(jié)構(gòu)(undercut)，取代單層膠結(jié)構(gòu)，便于長金后的金屬剝離(lift-off)。但當(dāng)電子束蒸發(fā)沉積＞2um金屬時，單純采用一種沉積速率達到目標沉積厚度時，不論單層光刻膠結(jié)構(gòu)還是雙層光刻膠結(jié)構(gòu)，在金屬應(yīng)力及溫度影響下，均會不同程度地出現(xiàn)光刻膠變形問題。例如：采用低沉積速率沉積金屬時，金屬沉積時間過長，生產(chǎn)效率低，生產(chǎn)成本過高，同時長時間金屬沉積，也會導(dǎo)致過高的金屬張應(yīng)力；采用高沉積速率沉積金屬時，高速率高能量原子轟擊光刻膠會導(dǎo)致光刻膠發(fā)生塌陷，金屬剝離困難、金屬卷邊問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種金屬電極的沉積方法以解決上述技術(shù)問題。

為了達到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：

根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供了一種金屬電極的沉積方法，包括：

在晶圓表面蒸涂底膜；

在所述晶圓的表面涂覆雙層光刻膠層，所述雙層光刻膠層覆蓋所述底膜；

對雙層光刻膠層進行曝光、顯影，以顯現(xiàn)出特定沉積圖形；

依次在所述沉積圖形上進行第一金屬和第二金屬沉積；

將第三金屬以不同速率分次在所述第二金屬層上進行沉積；

去除所述晶圓表面的光刻膠層，以在所述晶圓表面形成金屬電極圖形。

本發(fā)明的實施例提供的技術(shù)方案可以包括以下有益效果：本發(fā)明通過不同沉積速率搭配沉積的方式，可以較好地維持光刻膠的膠型，防止長時間高能量原子轟擊光刻膠，導(dǎo)致光刻膠變形塌陷，解決金屬剝離困難的問題。

應(yīng)當(dāng)理解的是，以上的一般描述和后文的細節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本發(fā)明。

附圖說明

圖1是本發(fā)明一示例性實施例示出的一種金屬電極的沉積方法的流程圖；

圖2是本發(fā)明圖1所示的步驟S15的具體步驟的流程圖。

具體實施方式

以下將結(jié)合附圖所示的具體實施方式對本發(fā)明進行詳細描述。但這些實施方式并不限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)這些實施方式所做出的結(jié)構(gòu)、方法、或功能上的變換均包含在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。

在本發(fā)明使用的術(shù)語是僅僅出于描述特定實施例的目的，而非旨在限制本發(fā)明。在本發(fā)明和所附權(quán)利要求書中所使用的單數(shù)形式的“一種”、“所述”和“該”也旨在包括多數(shù)形式，除非上下文清楚地表示其他含義。還應(yīng)當(dāng)理解，本文中使用的術(shù)語“和/或”是指并包含一個或多個相關(guān)聯(lián)的列出項目的任何或所有可能組合。