[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體濺射靶材的高純鈦錠開坯鍛造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810571988.5 | 申請日： | 2018-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN108746448B | 公開（公告）日： | 2020-06-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳景暉;姚力軍;杜全國;雷孝呂;李紅洋 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波創(chuàng)潤新材料有限公司 |
| 主分類號： | B21J5/00 | 分類號： | B21J5/00;B21J1/06;C23C14/34;C22F1/18 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人： | 嚴(yán)羅一 |
| 地址： | 315460 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 半導(dǎo)體 濺射 高純 鈦錠開坯 鍛造 方法 | ||
1.一種用于半導(dǎo)體濺射靶材的高純鈦錠開坯鍛造方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S1、鑄錠準(zhǔn)備，對鑄錠進(jìn)行修磨；
步驟S2、對經(jīng)所述步驟S1得到的所述鑄錠進(jìn)行第一次加熱；
步驟S3、對經(jīng)所述步驟S2加熱后的所述鑄錠進(jìn)行開坯鍛造得到坯料；
步驟S4、對經(jīng)所述步驟S3得到的所述坯料進(jìn)行降溫；
步驟S5、對經(jīng)所述步驟S4得到的所述坯料進(jìn)行第二次加熱；
步驟S6、對經(jīng)所述步驟S5加熱后的所述坯料進(jìn)行第二次鍛造得到二次坯料；
步驟S7、對經(jīng)所述步驟S6得到的所述二次坯料進(jìn)行第二次降溫；
步驟S8、對經(jīng)所述步驟S7得到的所述二次坯料進(jìn)行第三次加熱；
步驟S9、對經(jīng)所述步驟S8加熱后的所述二次坯料進(jìn)行鍛造成型；
其中，所述步驟S2中，所述第一次加熱的條件為：從0℃或室溫開始以一定速率加熱至950℃，并保溫一定時間；電爐方式加熱；保護(hù)氣為氬氣；
其中，所述步驟S5中，所述第二次加熱的條件為：從0℃或室溫開始以一定速率加熱至800℃，并保溫一定時間；電爐方式加熱；保護(hù)氣為氬氣；
其中，所述步驟S8中，所述第三次加熱的條件為：從500℃～600℃開始以一定速率加熱至700℃，并保溫一定時間；電爐方式加熱；保護(hù)氣為氬氣；
其中，所述步驟S3中，所述開坯鍛造的條件為：2～3次墩粗拔長，鍛造比為3～5，變形量為60％～80％；
其中，所述步驟S6中，所述第二次鍛造的條件為：鍛造比2～4，變形量為40％～59％；
其中，所述步驟S9中，使用模具對所述二次坯料進(jìn)行鍛造成型；
其中，在所述步驟S4中，對降溫后的所述坯料進(jìn)行修磨；和/或
在所述步驟S7中，對降溫后的所述二次坯料進(jìn)行修磨；
其中，在所述步驟S4和所述步驟S7中，對所述坯料進(jìn)行降溫的方法為空冷降溫；
其中，在所述步驟S1中，分別使用機(jī)加工車床和打磨裝置修磨所述鑄錠。
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