[發(fā)明專利]一種提高曝光產(chǎn)能直寫光刻機構(gòu)及其曝光方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810571167.1
• 申請日: 2018-06-05
• 公開（公告）號: CN108762007A
• 公開（公告）日: 2018-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱亮;胡傳武;張雷
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京華仲龍騰專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11548
• 代理人: 李靜

1.一種提高曝光產(chǎn)能直寫光刻機構(gòu)，其特征在于，包括多軸運動平臺、基板臺面、曝光系統(tǒng)、對位系統(tǒng)、底座和龍門機構(gòu)，所述底座和龍門機構(gòu)連接，所述底座上設(shè)有多軸運動平臺，所述多軸運動平臺包括y軸運動組件、x軸運動組件及z軸和θ軸組件，所述y軸運動組件固定在底座上，所述x軸運動組件固定在y軸運動組件上，所述z軸和θ軸組件固定在x軸運動組件上，所述基板臺面承載放置2片或2片以上曝光基板且固定在z軸和θ軸組件上，所述曝光系統(tǒng)和對位系統(tǒng)分別固定在龍門機構(gòu)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高曝光產(chǎn)能直寫光刻機構(gòu)，其特征在于：所述底座為大理石底座。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高曝光產(chǎn)能直寫光刻機構(gòu)，其特征在于：所述曝光系統(tǒng)由曝光鏡頭組成，所述對位系統(tǒng)由CCD相機、對準鏡頭和照明光源組成，所述CCD相機和對準鏡頭通過螺紋接口連接，所述照明光源通過螺釘鎖緊到對準鏡頭上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高曝光產(chǎn)能直寫光刻機構(gòu)，其特征在于：所述基板臺面上設(shè)置定位器，所述定位器通過螺釘鎖緊到基板臺面上。

5.一種提高曝光產(chǎn)能直寫光刻機構(gòu)的曝光方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）將圖形曝光基板移動到對應(yīng)的位置：x軸運動組件帶著曝光基板沿著x方向步進移動，y軸運動組件帶著曝光基板y方向掃描運動，z軸組件帶著曝光基板實現(xiàn)垂直運動，θ軸組件實現(xiàn)曝光基板臺面的旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)快速將圖形曝光基板移動到對應(yīng)的位置；

（2）放置曝光基板并完成快速定位：同時放置2-N片的曝光基板到基板臺面上，曝光基板通過基板臺面上設(shè)置的定位器定位；

（3）完成客戶圖形曝光：放置完成后，對位系統(tǒng)沿著掃描方向快速抓取曝光基板上的對位點，對位完成后對曝光圖形變換處理，曝光系統(tǒng)將變換的圖形實時呈現(xiàn)到N片基板的指定位置，完成客戶圖形曝光。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種提高曝光產(chǎn)能直寫光刻機構(gòu)的曝光方法，其特征在于：所述對位系統(tǒng)通過CCD相機沿著掃描方向分別抓取其覆蓋對位點區(qū)域，得到所有對位點的stage坐標，并對所有坐標點作歸一化處理。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種提高曝光產(chǎn)能直寫光刻機構(gòu)的曝光方法，其特征在于：所述曝光系統(tǒng)根據(jù)對位點的stage坐標，對所有的圖形進行圖形變換，將變換后的圖形合并成為一個整圖，并將該圖形曝光到基板1至基板N上，完成圖形的曝光。