[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體硅晶圓研磨系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810569336.8
• 申請(qǐng)日: 2018-06-05
• 公開（公告）號(hào): CN108637891B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐亞琴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫芯坤電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10;B24B37/34
• 代理公司: 北京中慧創(chuàng)科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11721
• 代理人: 王馨

1.一種半導(dǎo)體硅晶圓研磨系統(tǒng)，其特征在于：包括支撐架(1)、翻轉(zhuǎn)電機(jī)(2)、驅(qū)動(dòng)軸(3)、單向制動(dòng)器(4)、旋轉(zhuǎn)盤、固定盤(6)、連接桿(7)、研磨裝置(8)、研磨片(9)、回收箱(10)，所述驅(qū)動(dòng)軸(3)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在支撐架(1)的兩支撐板中部，驅(qū)動(dòng)軸(3)一端與翻轉(zhuǎn)電機(jī)(2)軸端頭固定連接；所述翻轉(zhuǎn)電機(jī)(2)固定連接在支撐架(1)的右支撐板上；所述單向制動(dòng)器(4)包括制動(dòng)轉(zhuǎn)盤(41)、制動(dòng)球(42)、彈簧，所述制動(dòng)轉(zhuǎn)盤(41)中心設(shè)置通孔，制動(dòng)轉(zhuǎn)盤(41)的圓柱面上設(shè)置一組缺口，缺口內(nèi)設(shè)有制動(dòng)球(42)；所述制動(dòng)球(42)通過彈簧與缺口內(nèi)壁連接；所述驅(qū)動(dòng)軸(3)穿過制動(dòng)轉(zhuǎn)盤(41)的通孔；所述制動(dòng)轉(zhuǎn)盤(41)設(shè)置在支撐架(1)的支撐板一側(cè)，制動(dòng)轉(zhuǎn)盤(41)能夠在旋轉(zhuǎn)盤的中心圓柱孔內(nèi)實(shí)現(xiàn)單向轉(zhuǎn)動(dòng)，制動(dòng)轉(zhuǎn)盤(41)對(duì)稱設(shè)置；所述旋轉(zhuǎn)盤對(duì)稱設(shè)置，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)盤之間通過兩個(gè)連接桿(7)固定連接；所述固定盤(6)的中心圓柱孔內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)盤，固定盤(6)一側(cè)端面固定連接在支撐架(1)的支撐板上，固定盤(6)對(duì)稱設(shè)置；所述連接桿(7)中部設(shè)有研磨裝置(8)，所述研磨裝置(8)用于配合研磨片(9)對(duì)硅晶圓進(jìn)行研磨，研磨裝置(8)上下對(duì)稱設(shè)置；所述研磨片(9)設(shè)置在頂部的研磨裝置(8)上方；所述回收箱(10)設(shè)置在底部的研磨裝置(8)下方；

所述研磨裝置(8)包括研磨電機(jī)(81)、支撐盤(82)、傳動(dòng)連桿(83)、配重桿(84)、彈簧、研磨盤(85)、一號(hào)伸縮桿(86)，所述研磨電機(jī)(81)固定連接在連接桿(7)中部，研磨電機(jī)(81)軸端頭固定連接支撐盤(82)中部；所述支撐盤(82)與研磨盤(85)之間通過一組一號(hào)伸縮桿(86)鉸接，支撐盤(82)中部上方設(shè)有傳動(dòng)連桿(83)；所述傳動(dòng)連桿(83)兩端設(shè)置成圓弧形，傳動(dòng)連桿(83)中部上轉(zhuǎn)動(dòng)連接配重桿(84)的一端，傳動(dòng)連桿(83)上設(shè)有兩個(gè)彈簧；所述配重桿(84)的一端通過上下兩個(gè)彈簧保持懸空，配重桿(84)的另一端設(shè)置球頭；所述研磨盤(85)能夠夾持硅晶圓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體硅晶圓研磨系統(tǒng)，其特征在于：所述單向制動(dòng)器(4)相對(duì)于固定盤(6)偏心設(shè)置，單向制動(dòng)器(4)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接塊(51)的中心孔內(nèi)；所述連接塊(51)為長方體，連接塊(51)上方中部固定連接二號(hào)伸縮桿(52)一端；所述二號(hào)伸縮桿(52)另一端與圓弧形滑塊(53)固定連接；所述圓弧形滑塊(53)與連接塊(51)之間設(shè)有一組彈簧，圓弧形滑塊(53)相對(duì)于連接塊(51)對(duì)稱設(shè)置；所述固定盤(6)中部設(shè)置腰形孔；所述圓弧形滑塊(53)能夠在固定盤(6)的腰形孔內(nèi)滑動(dòng)；兩個(gè)水平的圓弧形滑塊(53)之間固連著連接桿(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體硅晶圓研磨系統(tǒng)，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)軸(3)中部安裝一組與驅(qū)動(dòng)軸(3)兩端相反的單向制動(dòng)器(4)；所述單向制動(dòng)器(4)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在凸輪(31)的中心圓柱孔內(nèi)；所述凸輪(31)下方設(shè)有振動(dòng)推桿(32)，每個(gè)凸輪(31)的初始角度各不相同；所述振動(dòng)推桿(32)一端設(shè)置軸肩，軸肩下方設(shè)有彈簧，振動(dòng)推桿(32)另一端設(shè)置成分叉，振動(dòng)推桿(32)滑動(dòng)安裝在振動(dòng)支架(33)的圓柱孔內(nèi)；所述彈簧下端與振動(dòng)支架(33)的圓柱孔底部接觸；所述振動(dòng)支架(33)一端內(nèi)部設(shè)置圓柱孔，振動(dòng)支架(33)另一端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在驅(qū)動(dòng)軸(3)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體硅晶圓研磨系統(tǒng)，其特征在于：所述凸輪(31)下方設(shè)有球頭壓塊(34)；所述球頭壓塊(34)中部設(shè)置軸肩，球頭壓塊(34)底端固定連接一號(hào)彈簧(35)頂端；所述一號(hào)彈簧(35)底端固定連接錐形壓塊(37)上端，一號(hào)彈簧(35)的相鄰螺旋線之間通過兩個(gè)螺旋支架(36)固定連接；所述螺旋支架(36)上端固定連接在球頭壓塊(34)底端，螺旋支架(36)下端固定連接在錐形壓塊(37)上端。