[發明專利]電容式機械波感測組件及其支撐柱以及機械波收發裝置

在審

• 申請號: 201810566008.2
• 申請日: 2018-06-04
• 公開（公告）號: CN110553719A
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 梁貽德;吳強;張管青;林曉逸
• 申請（專利權）人: 風起科技股份有限公司
• 主分類號: G01H11/06
• 分類號: G01H11/06;B81B3/00
• 代理公司: 11228 北京匯澤知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉淑敏

1.一種電容式機械波感測組件，其特征在于，包含：

一可動組件層，包含一第一導電層與一調整層，該可動組件層具有數個孔洞，該數個孔洞穿透該第一導電層與該調整層；

至少一支撐柱，配置于該可動組件層的下方的重心處，該支撐柱由一內部金屬柱與一外部保護環所構成，該內部金屬柱與該第一導電層電性連接；及

一基底導電層，配置于該可動組件層的對側而與該至少一支撐柱連接，該基底導電層與該第一導電層隔離而形成一電容結構。

2.如權利要求1所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該調整層是選自鈦材料層、氮化鈦材料層、鉻材料層、二氧化硅材料層、鈦鉻合金材料層、硅化鎢合金材料層。

3.如權利要求1所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該第一導電層形成于該至少一支撐柱上方而直接與該至少一支撐柱電性連接。

4.如權利要求1所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該調整層形成于該至少一支撐柱上方，而該第一導電層是借由穿孔與該至少一支撐柱電性連接。

5.如權利要求1所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該可動組件層的形狀為規則對稱形狀。

6.如權利要求1所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該數個孔洞的形狀是選自圓形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

7.如權利要求1所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該數個孔洞的排列是選自圓形環狀排列、三角形緊密排列、方形緊密排列、五角形緊密排列、六角形緊密排列、八角形緊密排列。

8.如權利要求1所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該支撐柱的形狀是選自圓形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

9.如權利要求1所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該可動組件層上還包含至少一溝槽結構，該溝槽結構穿透該第一導電層與該調整層而對應圍繞形成于該支撐柱的外側而與該支撐柱保持一距離。

10.如權利要求1所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該可動組件層上還包含至少一平面彈簧結構，該平面彈簧結構形成于該可動組件層的表面。

11.一種電容式機械波感測組件，其特征在于，包含：

一可動組件層，包含一第一導電層，該可動組件層具有數個孔洞，該數個孔洞穿透該第一導電層，該數個孔洞的排列是選自圓形環狀排列、三角形緊密排列、方形緊密排列、五角形緊密排列、六角形緊密排列、八角形緊密排列；

至少一支撐柱，配置于該可動組件層的下方的重心處，該支撐柱由一內部金屬柱與一外部保護環所構成，該內部金屬柱與該第一導電層電性連接；及

一基底導電層，配置于該可動組件層的對側而與該至少一支撐柱連接，該基底導電層與該第一導電層隔離而形成一電容結構。

12.如權利要求11所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該可動組件層的形狀為規則對稱形狀。

13.如權利要求11所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該數個孔洞的形狀是選自圓形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

14.如權利要求11所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該支撐柱的形狀是選自圓形、三角形、方形、五角形、六角形、八角形。

15.如權利要求11所述的電容式機械波感測組件，其特征在于，其中該可動組件層上還包含至少一溝槽結構，該溝槽結構穿透該第一導電層而對應圍繞形成于該支撐柱的外側而與該支撐柱保持一距離。