[發(fā)明專利]一種低溫漂的諧振式微加速度計等腰直角三角形陣列結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810565263.5
• 申請日: 2018-06-04
• 公開（公告）號: CN108801247B
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔敏;楊海鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 中北大學
• 主分類號: G01C21/16
• 分類號: G01C21/16;G01P15/08
• 代理公司: 太原新航路知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 14112
• 代理人: 王勇

1.一種低溫漂的諧振式微加速度計等腰直角三角形陣列結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括三個尺寸相同的單諧振機構(gòu)微加速度計(1)；三個單諧振機構(gòu)微加速度計(1)的敏感軸線在同一平面內(nèi)相交形成等腰直角三角形；

所述單諧振機構(gòu)微加速度計(1)包括質(zhì)量塊(101)和諧振機構(gòu)；

所述諧振機構(gòu)包括左一大錨塊(102a)、右一大錨塊(102b)、左二大錨塊(103a)、右二大錨塊(103b)、左一方波狀支撐梁(104a)、右一方波狀支撐梁(104b)、左二方波狀支撐梁(105a)、右二方波狀支撐梁(105b)、中間錨塊(106)、左橫梁(107a)、右橫梁(107b)、左小錨塊(108a)、右小錨塊(108b)、雙端固定音叉(109)、左一豎梁(110a)、右一豎梁(110b)、左二豎梁(111a)、右二豎梁(111b)、左三豎梁(112a)、右三豎梁(112b)、左四豎梁(113a)、右四豎梁(113b)、左梳狀微諧振器(114a)、右梳狀微諧振器(114b)；

質(zhì)量塊(101)的左表面中部延伸設(shè)置有左凸塊；質(zhì)量塊(101)的右表面中部延伸設(shè)置有右凸塊；質(zhì)量塊(101)的前表面和后表面之間貫通開設(shè)有中心腔；左一方波狀支撐梁(104a)的兩端分別與左凸塊的上表面和左一大錨塊(102a)的下表面固定；右一方波狀支撐梁(104b)的兩端分別與右凸塊的上表面和右一大錨塊(102b)的下表面固定；左二方波狀支撐梁(105a)的兩端分別與左凸塊的下表面和左二大錨塊(103a)的上表面固定；右二方波狀支撐梁(105b)的兩端分別與右凸塊的下表面和右二大錨塊(103b)的上表面固定；左一豎梁(110a)的兩端分別與中心腔的頂面左部和左橫梁(107a)的上表面左端固定；右一豎梁(110b)的兩端分別與中心腔的頂面右部和右橫梁(107b)的上表面右端固定；左二豎梁(111a)的兩端分別與中間錨塊(106)的下表面左部和左橫梁(107a)的上表面右端固定；右二豎梁(111b)的兩端分別與中間錨塊(106)的下表面右部和右橫梁(107b)的上表面左端固定；左三豎梁(112a)的兩端分別與左橫梁(107a)的下表面右部和雙端固定音叉(109)的上固定座的上表面左部固定，且左三豎梁(112a)位于左二豎梁(111a)的左側(cè)；右三豎梁(112b)的兩端分別與右橫梁(107b)的下表面左部和雙端固定音叉(109)的上固定座的上表面右部固定，且右三豎梁(112b)位于右二豎梁(111b)的右側(cè)；左四豎梁(113a)的兩端分別與左小錨塊(108a)的下表面中部和雙端固定音叉(109)的下固定座的上表面左部固定；右四豎梁(113b)的兩端分別與右小錨塊(108b)的下表面中部和雙端固定音叉(109)的下固定座的上表面右部固定；左梳狀微諧振器(114a)的諧振梁垂直固定于雙端固定音叉(109)的左叉臂的左表面中部；右梳狀微諧振器(114b)的諧振梁垂直固定于雙端固定音叉(109)的右叉臂的右表面中部；

質(zhì)量塊(101)的中軸線、中間錨塊(106)的中軸線、雙端固定音叉(109)的中軸線均重合且作為單諧振機構(gòu)微加速度計(1)的敏感軸線；單諧振機構(gòu)微加速度計(1)的敏感軸線的向上延伸方向定義為正方向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫漂的諧振式微加速度計等腰直角三角形陣列結(jié)構(gòu)，其特征在于：還包括基板(2)；三個單諧振機構(gòu)微加速度計(1)均安裝于基板(2)上。