[發明專利]一種薄膜材料表面電位的測量設備

在審

• 申請號: 201810565261.6
• 申請日: 2018-06-04
• 公開（公告）號: CN108508282A
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 嚴玉婷;黃榮輝;艾精文;向真;胡力廣
• 申請（專利權）人: 深圳供電局有限公司
• 主分類號: G01R29/12
• 分類號: G01R29/12
• 代理公司: 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙) 44238
• 代理人: 潘中毅;熊賢卿

1.一種薄膜材料表面電位的測量設備，其特征在于，包括：

試驗箱，其具有兩開孔，其中一個連接真空泵，用于為測量提供真空條件，另一個為透氣孔，用于通入測量所需的各種氣體；

設置在所述試驗箱內的加熱臺，用于為測量提供所需的溫度條件；

位于所述加熱臺之上且與所述加熱臺緊密接觸的地電極；

設置在所述試驗箱內的針電極和柵網電極，所述柵網電極位于所述針電極與所述地電極之間，所述柵網電極與第一高壓電源相連，所述針電極與第二高壓電源相連；

設置在所述試驗箱內的靜電探頭，用于對置于所述地電極之上、經充電后的待測薄膜材料進行表面電位測量。

2.根據權利要求1所述的測量設備，其特征在于，所述柵網電極為具有均勻分布的多個網孔的金屬絲網。

3.根據權利要求2所述的測量設備，其特征在于，所述網孔為邊長為1mm的正方形網孔。

4.根據權利要求2所述的測量設備，其特征在于，所述針電極的針尖正對所述柵網電極的中心，所述針電極與所述柵網電極的距離為5 mm，所述柵網電極與所述地電極的距離為5mm。

5.根據權利要求4所述的測量設備，其特征在于，所述針電極的針尖的曲率半徑為10μm。

6.根據權利要求1所述的測量設備，其特征在于，所述地電極一端分別與所述第一高壓電源和所述第二高壓電源的接地端相連，另一端與拉桿相連，所述拉桿用于在待測薄膜材料充電完成后，移動所述地電極，將待測薄膜材料移動至所述靜電探頭下方進行表面電位測量。

7.根據權利要求6所述的測量設備，其特征在于，所述靜電探頭與移動至其下方的所述地電極的距離為6 mm。

8.根據權利要求1所述的測量設備，其特征在于，所述靜電探頭通過信號線與所述試驗箱外部的靜電電位計相連。

9.根據權利要求8所述的測量設備，其特征在于，所述靜電電位計與計算機相連，用于將所述靜電探頭測量的數據傳輸至所述計算機進行記錄。

10.根據權利要求1所述的測量設備，其特征在于，所述試驗箱內還具有氣壓測量儀，用于實時測量并顯示所述試驗箱內的氣壓值。