[發(fā)明專利]與外涂布光致抗蝕劑一起使用的涂料組合物

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810563354.5
• 申請(qǐng)日: 2018-06-02
• 公開（公告）號(hào): CN109143783B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李惠元;沈載桓;S·J·林;樸琎洪;Y·R·申
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 羅門哈斯電子材料韓國(guó)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/09
• 分類號(hào): G03F7/09;C09D5/00;C09D167/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陳哲鋒;胡嘉倩

1.一種經(jīng)涂布襯底，包含：

(a)在襯底上的涂料組合物層，所述涂料組合物包含含有一個(gè)或多個(gè)經(jīng)取代尿嘧啶部分和一個(gè)或多個(gè)反應(yīng)的二羧酸基團(tuán)的樹脂，

所述樹脂通過聚合1)含有一個(gè)或多個(gè)經(jīng)取代尿嘧啶部分的第一試劑和2)含有一個(gè)或多個(gè)脂肪族二羧酸基團(tuán)的第二試劑的步驟而獲得；和

(b)所述涂料組合物層上的光致抗蝕劑層，

所述樹脂具有至少7的Ohnishi參數(shù)值，

所述Ohni shi參數(shù)值代表作為NT/(NC-NO)的函數(shù)的聚合物中的有效碳含量，其中NT是原子總數(shù)，NC是碳原子數(shù)，并且NO是氧原子的數(shù)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底，其中所述樹脂還包含一個(gè)或多個(gè)異氰脲酸酯部分。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的襯底，其中尿嘧啶部分被鹵素或硝基取代。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的襯底，其中所述樹脂可通過聚合1)包含一個(gè)或多個(gè)經(jīng)取代尿嘧啶部分的第一試劑，2)包含一個(gè)或多個(gè)二羧酸基團(tuán)的第二試劑和3)包含一個(gè)或多個(gè)異氰脲酸酯部分的第三試劑而獲得。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的襯底，其中所述樹脂包含基于樹脂總重量20至70重量％的量的所述尿嘧啶和反應(yīng)的二羧酸組分。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的襯底，其中所述樹脂包含聚酯鍵。

7.一種形成光致抗蝕劑浮雕圖像的方法，包含：

(a)在襯底上涂覆涂料組合物，所述涂料組合物包含含有一個(gè)或多個(gè)經(jīng)取代尿嘧啶部分和一個(gè)或多個(gè)反應(yīng)的二羧酸基團(tuán)的樹脂，所述樹脂通過聚合1)含有一個(gè)或多個(gè)經(jīng)取代尿嘧啶部分的第一試劑和2)含有一個(gè)或多個(gè)脂肪族二羧酸基團(tuán)的第二試劑的步驟而獲得；

(b)在所述涂料組合物層上涂覆光致抗蝕劑組合物層；以及

(c)使所述光致抗蝕劑層曝光并且顯影以提供抗蝕劑浮雕圖像，

所述樹脂具有至少7的Ohnishi參數(shù)值，

所述Ohni shi參數(shù)值代表作為NT/(NC-NO)的函數(shù)的聚合物中的有效碳含量，其中NT是原子總數(shù)，NC是碳原子數(shù)，并且NO是氧原子的數(shù)量。

8.一種與外涂光致抗蝕劑組合物一起使用的抗反射組合物，所述抗反射組合物包含含有一個(gè)或多個(gè)經(jīng)取代尿嘧啶部分和一個(gè)或多個(gè)反應(yīng)的二羧酸基團(tuán)的樹脂，

所述樹脂通過聚合1)含有一個(gè)或多個(gè)經(jīng)取代尿嘧啶部分的第一試劑和2)含有一個(gè)或多個(gè)脂肪族二羧酸基團(tuán)的第二試劑的步驟而獲得，

所述樹脂具有至少7的Ohnishi參數(shù)值，

所述Ohni shi參數(shù)值代表作為NT/(NC-NO)的函數(shù)的聚合物中的有效碳含量，其中NT是原子總數(shù)，NC是碳原子數(shù)，并且NO是氧原子的數(shù)量。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的抗反射組合物，其中所述樹脂還包含一個(gè)或多個(gè)異氰脲酸酯部分。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的抗反射組合物，其中所述樹脂包含聚酯鍵。

11.根據(jù)權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)所述的抗反射組合物，其中所述組合物包含交聯(lián)劑組分。