[發明專利]適用于藍寶石拋光的化學機械拋光液有效
| 申請號： | 201810561828.2 | 申請日： | 2018-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN108997940B | 公開（公告）日： | 2021-01-19 |
| 發明（設計）人： | 張澤芳;彭詩月 | 申請（專利權）人： | 上海映智研磨材料有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;B24B29/00 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 張新鑫;許亦琳 |
| 地址： | 201799 上海市青浦區青*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 適用于 藍寶石 拋光 化學 機械拋光 | ||
【權利要求書】：
1.一種適用于藍寶石拋光的化學機械拋光液，其特征在于，所述化學機械拋光液至少包括以下重量份的組分：
其中，所述氧化鋁拋光顆粒的粒徑為0.2微米、0.4微米、0.6微米或1微米，所述速率促進劑選自硝酸鹽、硫酸鹽、或者硼酸鹽中的至少一種，所述分散劑為聚丙烯酸或其鹽中的一種或者幾種。
2.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述的聚丙烯酸鹽選自聚丙烯酸鈉或聚丙烯酸銨中的任意一種或者兩種，分子量1000-20000。
3.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述pH調節劑選自碳酸鉀、碳酸鈉、碳酸銨、硅酸鉀、硅酸鈉、氫氧化鉀或氫氧化鈉中的至少一種。
4.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述化學機械拋光液的pH值范圍為7～12。
5.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述化學機械拋光液的pH值范圍為9～11。
6.根據權利要求1所述的化學機械拋光液，其特征在于：所述螯合劑選自乙二胺四乙酸、羧酸、磺酸及其鹽類中的任意一種或幾種。
7.如權利要求1～6任一項權利要求所述的化學機械拋光液用于給藍寶石拋光的用途。
8.如權利要求1～6任一項權利要求所述的化學機械拋光液用于制備拋光劑的用途。
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