[發明專利]一種潔凈室的潔凈度控制系統

在審

• 申請號: 201810558431.8
• 申請日: 2018-06-01
• 公開（公告）號: CN109059099A
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發明（設計）人: 秦學禮;李先庭;肖紅梅;張群;閻冬;王江標
• 申請（專利權）人: 世源科技工程有限公司
• 主分類號: F24F1/00
• 分類號: F24F1/00;F24F3/16;F24F11/54;F24F11/64;F24F11/77;F24F11/89;F24F110/64
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

本發明實施例公開了一種潔凈室的潔凈度控制系統，以自動控制風機過濾器機組的風機的轉速，節約能源，提高潔凈室的潔凈度穩定性。該潔凈室的潔凈度控制系統包括風機過濾器機組、塵埃粒子濃度測試儀和控制系統，其中，風機過濾器機組設置于潔凈室上方的上技術夾層內；塵埃粒子濃度測試儀設置于潔凈室，用于測試潔凈室工作區的塵埃粒子濃度；控制系統與風機過濾器機組和塵埃粒子濃度測試儀連接，當潔凈室的塵埃粒子濃度大于設定值時，控制風機過濾器機組的風機提高轉速；當潔凈室的塵埃粒子濃度小于設定值時，控制風機過濾器機組的風機降低轉速。

技術領域

本發明涉及潔凈度控制技術領域，特別是涉及一種潔凈室的潔凈度控制系統。

背景技術

目前，隨著科技的發展，電子產品已經廣泛的應用到生產生活中。而電子產品中的主流產品包括半導體芯片和顯示器件，其生產過程對廠房內的塵埃粒子濃度，即潔凈度等級有嚴格的要求，因此通常在潔凈室內進行工藝生產。為保證潔凈室內的潔凈度等級，潔凈室內通常設置有凈化空氣調節系統，該系統通常包括風機過濾器機組(FFU)。

近幾年，隨著電子產品的加工尺寸和產能的提高，潔凈室面積也隨之擴大，以某加工尺寸較大的11代TFT-LCD顯示器工廠為例，其潔凈室面積達到40多萬平方米，FFU數量超過10萬臺。

現有技術中，通常根據潔凈室的面積和潔凈度等級，設定FFU的數量和轉速，具體的，風機轉速及決定了風機的出風風量。而實際運行中，FFU的風機轉速設定后，一般很長時間內不進行再設定。實測結果表明大多數潔凈室的潔凈度等級遠優于工藝生產所要求的等級，顯然循環空氣量出現大量冗余，造成能源大量浪費。

發明內容

本發明實施例的目的是提供一種潔凈室的潔凈度控制系統，以自動控制風機過濾器機組的風機的轉速，節約能源，提高潔凈室的潔凈度穩定性。

本發明實施例提供了一種潔凈室的潔凈度控制系統，該潔凈室的潔凈度控制系統包括：

風機過濾器機組，設置于潔凈室上方的上技術夾層內；

塵埃粒子濃度測試儀，設置于潔凈室，用于測試潔凈室的塵埃粒子濃度；

控制系統，與風機過濾器機組和塵埃粒子濃度測試儀連接，當所述潔凈室的塵埃粒子濃度大于設定值時，控制所述風機過濾器機組的風機提高轉速；當所述潔凈室的塵埃粒子濃度小于設定值時，控制所述風機過濾器機組的風機降低轉速。

可選的技術方案中，所述控制系統與所述塵埃粒子濃度測試儀通過信號連接，所述信號包括模擬信號、數字信號或者光信號。

具體的技術方案中，所述控制系統包括與風機過濾器機組一一對應連接的分控制器，以及與所述分控制器和塵埃粒子濃度測試儀連接的總控制器，其中：

總控制器用于根據塵埃粒子濃度測試儀測得的潔凈室的塵埃粒子濃度與設定值的關系，向分控制器發送風機過濾器機組控制指令；分控制器用于根據接收到的風機過濾器機組控制指令控制風機過濾器機組的風機提高轉速或者降低轉速。

可選的技術方案中，所述總控制器包括可編程邏輯控制器或者直接數字控制器；所述分控制器包括可編程邏輯控制器或者直接數字控制器。

進一步的技術方案中，潔凈室的潔凈度控制系統還包括顯示系統，與所述風機過濾器機組和塵埃粒子濃度測試儀連接，用于顯示風機的轉速和潔凈室的塵埃粒子濃度。

進一步的技術方案中，潔凈室的潔凈度控制系統還包括操作臺，與所述風機過濾器機組連接，用于設定所述風機過濾器機組的風機的轉速和所述設定值。

具體的技術方案中，所述設定值小于潔凈室的塵埃粒子濃度目標值。

進一步的技術方案中，潔凈室的潔凈度控制系統包括多個風機過濾器機組。