[發(fā)明專利]電機驅(qū)動型硅片除塵托架在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810557543.1 | 申請日： | 2018-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN108493149A | 公開（公告）日： | 2018-09-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 梅婕 | 申請（專利權(quán)）人： | 梅婕 |
| 主分類號： | H01L21/687 | 分類號： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 225500 江蘇省泰州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅片 電機驅(qū)動型 除塵 托架 吹洗 位置和方向 插接固定 電機驅(qū)動 二次污染 硅片表面 過程作業(yè) 托盤表面 橡膠棒 氣槍 | ||
1.一種電機驅(qū)動型硅片除塵托架（1），其特征在于，包含一支架（2），所述支架（2）的底部設(shè)有多個支撐腳（3），所述支架（2）的頂部設(shè)有一第一導軌（4）和一第二導軌（5），所述第一導軌（4）和第二導軌（5）相互平行，所述第一導軌（4）和第二導軌（5）上活動連接一滑板（6），所述滑板（6）可在第一導軌（4）和第二導軌（5）上自由滑動，所述支架（2）上可轉(zhuǎn)動地設(shè)有一驅(qū)動桿（7），所述驅(qū)動桿（7）由一驅(qū)動電機（8）驅(qū)動轉(zhuǎn)動，所述驅(qū)動桿（7）的桿體布滿外螺紋，所述驅(qū)動桿（7）和滑板（6）間通過螺紋連接驅(qū)動，所述滑板（6）的上表面設(shè)有一轉(zhuǎn)盤（9），所述轉(zhuǎn)盤（9）上固定連接一第一支撐體（10）和一第二支撐體（11），所述第一支撐體（10）和第二支撐體（11）間設(shè)有一轉(zhuǎn)軸（12），所述轉(zhuǎn)軸（12）由一電機（13）驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，所述轉(zhuǎn)軸（12）上固定連接一托盤（14），所述托盤（14）上設(shè)有多個固定插孔（15）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電機驅(qū)動型硅片除塵托架，其特征在于，所述的轉(zhuǎn)盤（9）、第一支撐體（10）和第二支撐體（11）一體成型。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電機驅(qū)動型硅片除塵托架，其特征在于，所述的驅(qū)動電機（8）為直流異步電機。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
