[發(fā)明專利]工件臺(tái)、物料姿態(tài)自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置及調(diào)節(jié)物料姿態(tài)的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810556621.6
• 申請日: 2018-05-31
• 公開（公告）號(hào): CN110554574B
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝洋;王繼明
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種調(diào)節(jié)物料姿態(tài)的方法，其特征在于，包括：

工件臺(tái)移動(dòng)至交接位使得物料位于所述工件臺(tái)上方，所述工件臺(tái)的氣體通路提供氣浮使得所述物料懸浮在所述工件臺(tái)上方，實(shí)現(xiàn)對物料的機(jī)械預(yù)對準(zhǔn)；

對物料的機(jī)械預(yù)對準(zhǔn)后，所述工件臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以對所述物料在Rz向進(jìn)行預(yù)補(bǔ)償；

對所述物料在Rz向進(jìn)行預(yù)補(bǔ)償?shù)耐瑫r(shí)或之后，對所述物料進(jìn)行自動(dòng)調(diào)姿；

對所述物料進(jìn)行自動(dòng)調(diào)姿之后，對所述物料進(jìn)行下降以及進(jìn)一步的自動(dòng)調(diào)姿，直至所述物料被所述工件臺(tái)吸附；以及

所述物料被所述工件臺(tái)吸附后，所述工件臺(tái)對所述物料進(jìn)行對準(zhǔn)補(bǔ)償；

其中，所述工件臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以對所述物料在Rz向進(jìn)行預(yù)補(bǔ)償?shù)牟襟E包括：

在物料機(jī)械預(yù)對準(zhǔn)后，通過CCD傳感器檢測所述物料在Rz向的偏差，位于物料上方的驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)向下運(yùn)動(dòng)至下限位，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)吸住所述物料；

所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)向上移動(dòng)至上限位處，同時(shí)，所述工件臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以對所述物料在Rz向進(jìn)行預(yù)補(bǔ)償。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：所述工件臺(tái)的氣體通路提供氣浮使得所述物料懸浮在所述工件臺(tái)上方的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)移動(dòng)至所述交接位上方。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，對所述物料進(jìn)行自動(dòng)調(diào)姿以及下降的步驟包括：

在驅(qū)動(dòng)單元的上限位處，驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述物料在Rz向旋轉(zhuǎn)，以補(bǔ)償所述物料在Rz向的剩余偏差；

降低所述工件臺(tái)的氣體通路中的氣壓，使得所述物料分階段的下降預(yù)定高度，每次下降預(yù)定高度后，CCD傳感器檢測所述物料在Rz向的偏差，并通過所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述物料進(jìn)行旋轉(zhuǎn)來補(bǔ)償所述物料在Rz向的偏差；

繼續(xù)降低所述工件臺(tái)的氣體通路中的氣壓，使得所述物料下降至所述工件臺(tái)上；

提供吸附力以使物料吸附在所述工件臺(tái)的吹吸氣結(jié)構(gòu)上，同時(shí)所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與所述物料分離。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述物料至少分兩次下降從而下降至預(yù)定高度。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述工件臺(tái)對所述物料進(jìn)行對準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)牟襟E包括：

在所述物料被所述工件臺(tái)吸附后，CCD傳感器檢測所述物料在水平和/或Rz向的偏差，并通過所述工件臺(tái)帶動(dòng)吸附在所述工件臺(tái)上的所述物料移動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)，以補(bǔ)償所述物料在水平和/或Rz向的偏差。

6.一種物料姿態(tài)自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括工件臺(tái)和頂部調(diào)節(jié)單元；所述工件臺(tái)包括若干個(gè)子結(jié)構(gòu)，所述子結(jié)構(gòu)包括底座以及吹吸氣結(jié)構(gòu)，所述底座具有進(jìn)氣孔以及氣道，所述吹吸氣結(jié)構(gòu)具有多個(gè)細(xì)孔，所述吹吸氣結(jié)構(gòu)固定于所述底座上，所述進(jìn)氣孔、氣道以及細(xì)孔相互連通以構(gòu)成氣體通路，所述氣體通路用于提供氣浮以使物料懸浮在所述吹吸氣結(jié)構(gòu)上方或提供吸附力以使物料吸附在所述吹吸氣結(jié)構(gòu)上；所述頂部調(diào)節(jié)單元包括驅(qū)動(dòng)單元、調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和CCD傳感器；其中，所述物料姿態(tài)自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置通過執(zhí)行以下步驟實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)物料姿態(tài)：

所述工件臺(tái)移動(dòng)至交接位使得所述物料位于所述工件臺(tái)上方，所述工件臺(tái)的氣體通路提供氣浮使得所述物料懸浮在所述工件臺(tái)上方，實(shí)現(xiàn)對物料的機(jī)械預(yù)對準(zhǔn)；

對所述物料的機(jī)械預(yù)對準(zhǔn)后，通過所述CCD傳感器檢測所述物料在Rz向的偏差，位于所述物料上方的所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)向下運(yùn)動(dòng)至下限位，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)吸住所述物料；所述驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)動(dòng)所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)向上移動(dòng)至上限位處，同時(shí)，所述工件臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)以對所述物料在Rz向進(jìn)行預(yù)補(bǔ)償；

對所述物料在Rz向進(jìn)行預(yù)補(bǔ)償?shù)耐瑫r(shí)或之后，對所述物料進(jìn)行自動(dòng)調(diào)姿；

對所述物料進(jìn)行自動(dòng)調(diào)姿之后，對所述物料進(jìn)行下降以及進(jìn)一步的自動(dòng)調(diào)姿，直至所述物料被所述工件臺(tái)吸附；以及

所述物料被所述工件臺(tái)吸附后，所述工件臺(tái)對所述物料進(jìn)行對準(zhǔn)補(bǔ)償。